第4章 电容式传感器课件.pptVIP

3．电容测厚仪 电容测厚仪的关键部件之一就是电容测厚传感器。在板材轧制过程中由它监测金属板材的厚度变化情况。 。 图4.22 电容测厚仪工作原理 （差动式） 传感器 小 结 变电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种传感器。它具有结构简单、分辨率高、抗过载能力大、动态特性好等优点，且能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。 只要固定平行板电容器3个参量d、S、ε中的两个，只要另外一个参数改变，则电容量就将产生变化，所以电容式传感器可以分成3种类型：变面积式、变间隙式与变介电常数式。 电容传感器的输出电容值一般十分微小，几乎都在几皮法至几十皮法之间，因而必须借助于一些测量电路，将微小的电容值成比例地转换为电压、电流或频率信号。选择测量电路时，可根据电容传感器的变化量，选择合适的电路。 作业：P 81 1，3，4，8 第4章 电容式传感器 第4章??? 电容式传感器 电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感器元件，将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。 优点：● 结构简单，可以不用有机材料和磁性材料构成，所以能在高 温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作； ● 可非接触测量； ● 灵敏度高；响应时间短，适合在线和动态测量； ● 极间的相互吸力十分微小，保证了比较高的测量精度； 缺点：易受分布电容和外界干扰的影响，负载能力弱，存在非线性等。 4.1 电容式传感器工作原理及分类 4.2 测量电路 4.3电容式传感器的应用及补充材料 1F=106μF=109 nF=1012 pF 4.1 电容式传感器的工作原理 4.1.1、变面积式电容传感器 4.1.2、变间隙式电容传感器 4.1.3、变介电常数式电容传感器 一、工作原理及结构类型 电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。 多数场合下，电容器是由两个金属平行板组成，且以空气为介质。如果不考虑边缘效应，电容器的电容量 ： S ——两平行极板所覆盖的面积； D ——两平行极板之间的距离； ? ——极板间介质的介电常数； ?0 ——真空介电常数（8.854×10-12 F?m-1） ?r ——介质相对真空的介电常数， ?r空气≈1，其它介质?r 1。 当被测量使得S 、d 或? 发生变化时，电容量C 也随之变化。一般保持其中两个参数不变而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化。 变面积式 (变s) 变间隙式 (变d) 变介电常数 (变s) 电容式传感器可分为三种类型： （a）、（b）变间隙式；（c）、（d）、（e）、（f）变面积式； （g）、（h）变介电常数式 1、变面积式电容传感器 包括角位移和线位移（平面线位移、圆筒线位移） 1）. 直线位移式 极板起始覆盖面积为S＝a×b， 沿活动极板宽度方向移动?x，则改变了两极间覆盖面积。忽略边缘效应，改变后的电容量为 初始电容： ?C与?x成线性关系 图4.2 变面积型电容传感器原理图 增加极板长度b、减小极板间距d都可以提高灵敏度K ； 减小极板宽度a可提高相对灵敏度KC ，而极板起始覆盖长度b与相对灵敏度KC 无关。但a不能太小，必须保证a》d ，否则边缘不均匀电场影响将增大。 灵敏度 灵敏度为常数。 为提高测量精度，也常用如图4.3所示的结构形式，以减少动极板与定极板之间的相对极距可能变化而引起的测量误差。 图4.3 中间极板移动变面积式电容传感器原理图 2）. 角位移 当动极板有一个角位移θ时，与定极板的遮盖面积就改变，从而改变了两极板间的电容量。当θ＝0 时，则 当θ≠0时，则 这种形式的传感器电容量C与角位移θ是成线性关系的。 灵敏度： 变面积式电容传感器动画 在实际应用中，也采用差动结构，以提高灵敏度。角位移测量用的差动式结构如图4.5所示。 图4.5 差动角位移式电容传感器原理图 变面积式电容传感器输入输出 成线性关系（忽略边缘效应），但 灵敏度较低，适用于较大直线位移 及角位移测量。 2、变间隙式电容传感器 初始电容 当?dd0时，可简化为 这时?C 与?d 近似呈线性关系，所以改变极板距离的电容式传感器往往是设计成?d 在极小的范围内变化。此外由曲线图可以看出，d0 越小，灵敏度越高。 若电