四氯化硅催化氢化合成三氯氢硅机理研究分子催化.pdfVIP

　第２７卷 第３期 分　　子　　催　　化 Ｖｏｌ．２７，Ｎｏ．３　 　２０１３年６月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＭＯＬＥＣＵＬＡＲＣＡＴＡＬＹＳＩＳ（ＣＨＩＮＡ） Ｊｕｎ．　２０１３　 文章编号：１００１３５５５（２０１３）０３０２７９０８ 四氯化硅催化氢化合成三氯氢硅机理研究  岳晓宁，龙雨谦，黄　韬，蒋　炜 ，陈建钧，梁　斌 （四川大学 化学工程学院，四川省多相流传质与化学反应工程重点实验室，四川 成都６１００６５） 摘要：针对四氯化硅催化氢化过程采用第一性原理机理对其进行模拟研究，结果表明：没有催化剂时，ＳｉＣｌ与Ｈ ４ ２ 反应能垒为４６４．４５ｋＪ／ｍｏｌ，反应能量为７４．９４ｋＪ／ｍｏｌ，与热力学计算结果７１．８５ｋＪ／ｍｏｌ一致．负载在ＨＺＳＭ５分 子筛上的氯化钡可催化四氯化硅氢化反应，其最具催化活性表面为（１１１）面；Ｈ 在ＢａＣｌ（１１１）面上表现排斥性； ２ ２ ＳｉＣｌ表现为吸附性，可在ＢａＣｌ（１１１）表面稳定吸附并生成 ·ＳｉＣｌ自由基，过程吸附能为４４８．３３ｋＪ／ｍｏｌ；在催化 ４ ２ ３ 剂ＢａＣｌ存在条件下，ＳｉＣｌ与Ｈ 反应为自由基反应，反应步骤能垒为４００．２３ｋＪ／ｍｏｌ；氢化过程能垒降为１８４．９７ ２ ４ ２ ｋＪ／ｍｏｌ；催化氢化反应过程所需能量为６４．２０ｋＪ／ｍｏｌ．催化氢化过程反应条件相对无催化剂过程更为温和． 关键词：四氯化硅；催化加氢；第一性原理；自由基；氯化钡 中图分类号：Ｏ６４３．３２ 文献标志码：Ａ 　　多晶硅是电子工业和光伏产业所需的主要材 可达８３．０１％，是极具工业引用前景的四氯化硅氢 料．目前国内生产工艺主要为改良西门子法，每生 化制三氯氢硅工艺路线． ［１］ 产１ｔ多晶硅副产 １５ｔ以上的四氯化硅 ．四氯化 但上述研究中，催化剂筛选停留在经验阶段， 硅属于剧毒物质，严重污染环境，如何更有效回收 并未明确四氯化硅氢化过程反应机理，也未明确催 四氯化硅是多晶硅行业发展焦点问题． 化剂催化作用机理及最优催化晶面．第一性原理是 四氯化硅回收利用主要有两个方向，一是以四 一种依据最基本的物理参数便可预测微观体系状态 氯化硅作为原材料生产其他化工产品，包括气相法 和性质的计算方法，它使用由核外电子和原子核构 白炭黑、有机硅产品和生产光纤等；二是在多晶硅 成的多粒子系统代替多原子系统来描述微观体系状 生产过程将四氯化硅氢化转化为三氯氢硅进行循环 态．我们采用第一性原理，尝试通过对氢气与四氯 ［２］ 利用 ．前者需求有限，不能大量消耗副产四氯化 化硅的反应过程及最优的四氯化硅晶体层面的吸 硅，研究重点集中于四氯化硅循环利用． 附反应行为进行模拟，确定可能的反应路径，建立 四氯化硅氢化技术主要为热氢化法、冷氢化 ＳｉＣｌ催化氢化反应机理模型，从而为加氢催化剂 ４ － ［３６］ 法、等离子氢化法以及催化氢化法 ．热氢化是