电容式传感器知识.ppt

电容式传感器 ;目录;一、电容式传感器的工作原理及分类;总得来说，电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的器件;5; 极距变化型电容传感器;7;极距变化型电容传感器的特点：动态特性好，灵敏度和精度较高（可达纳米级），适用于较小位移的精密测量，一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。; 面积变化型电容传感器; 角位移型;虽然面积变化型电容传感器在理想情况下灵敏度为常数，不存在非线性误差，但实际上因为电场边缘效应的影响仍存在一定的非线性误差，且灵敏度较低。; 介质变化型电容传感器;13;二、电容式传感器的测量电路; 电桥型电路; 电桥型电路;（）单臂接法;（）差动接法; 直流极化电路; 谐振电路; 调频电路; 运算放大器电路;;.克服静电引力的影响 电容式传感器两极板间因存在静电场，而作用有静电引力或力矩。???电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。通常这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹性敏感元件情况下，须考虑因静电引力造成的测量误差。 ;四、电容式传感器的研究现状;系列加速度计;. 电容式型液位变送器