注入Mo在Zr非晶合金中的扩散!.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 . ! #$$ ! ， ， ， :+7 ?. 0+ ? ! PVD3V-M #$$ （ ） !$$$B#8$S#$$S. $! S$#$$B$ 62G6 FTU()26 ()0)26 !#$$ 2Q5D ? FQM ? (+W ? 注入! 在#$ ’( )* ’. 12 非晶合金中的扩散! % % +%,- +/,0 +3 ）） ） ） ） ） ）） ! # ! ! 王秀英 高 明 孙力玲 刘日平 张 君 王文魁 !）（河北省亚稳材料制备技术与科学重点实验室，燕山大学材料工程学院，秦皇岛 $%%$$ ） # ）（燕山大学产业集团，秦皇岛 $%%$$ ） ）（中国科学院物理研究所，北京 !$$$’$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$$ ! #$$ % 通过二次离子质谱仪（ ）研究了 在 非晶合金中的扩散，并计算出其扩散激活能 ()*( *+ ,- 01 23 05 67 ! ./ . !. 4 !# 4% !$ 和前置系数 分别为 和 . # ! 根据 关系式研究了玻璃转变温度以下 — $ !48. 9: !4 ! ; !$ = ? (@+A9BC5D@9-D .8 %/ E 之间,- 01 23 05 67 非晶合金的黏滞特性，得到的黏滞系数从.8 E 的!4$/ ; !$!$ F+59 降到%/ E 的!4# ; ./ . !. 4 !# 4% !$ !$’ F+59 ? 关键词：扩散，离子注入，二次离子质谱（ ），黏滞特性 ()*( ： ， 41)) %%$ %!/$G 控制工艺参数制备符合要求的微结构? 到目前为止， !4 引 言 有关,-G52305K9 非晶合金的扩散行为已做了些研 ［ ， ］ ［ ］