掺钛氧化锌半导体薄膜制备及其光学性质的研究-中南民族大学学报.PDF

33 1 ( ) Vol． 33 No． 1 第 卷第 期 中南民族大学学报 自然科学版 2014 3 Journal of South-Central University for Nationalities (Nat． Sci． Edition) Mar． 2014 年 月 掺钛氧化锌半导体薄膜制备及其光学性质的研究 1 ，2 1 1 志有 ， ， 钟 兰 椿 汪 浩 (1 中南民族大学 ， 430074 ;2 ， 430074) 电子信息工程学院 武汉 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室 武汉 (TiO ) (ZTO) ， 摘 要 以二氧化钛 2 掺杂的氧化锌 陶瓷靶作为溅射源材料 采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上沉 ZTO ， - 、 ， TiO 积了 半导体薄膜 利用可见 紫外光分光光度计 四探针仪测试以及多种光学表征方法 研究了陶瓷靶中 2 ZTO ． :ZTO ， 含量对 薄膜光学性质和光电综合性能的影响 实验结果表明 薄膜的折射率表现为正常的色散特性 其色 ． TiO ZTO 、 、 、 散行为遵循有效单振子模型 2 含量对 薄膜的电阻率 透过率 折射率 消光系数和光学带隙等具有不同程 ， TiO 3% ，ZTO 、 、 ． 度的影响 当 2 的质量分数为 时 薄膜的电阻率最低 可见光平均透过率最高 光电综合性能最好 ; ; 关键词 氧化锌薄膜 掺杂 光学性质 中图分类号 TM914 文献标识码 A 文章编号 1672-4321 (2014)01-0051-06 Preparation and Optical Properties of TiO -Doped 2 Zinc Oxide Semiconductor Thin Films Zhong Zhiyou1，2 ，Lan Chun 1 ，Wang Hao1 (1 College of Electronic Information Engineering，South-Central University for Nationalities ，Wuhan 430074 ，China ; 2 Hub