面向精密加工的压电驱动微进给工作台设计与研究-机械制造及其自动化专业毕业论文.docxVIP

面向精密加工的压电驱动微进给工作台设计与研究 面向精密加工的压电驱动微进给工作台设计与研究 摘要 面向二十一世纪，制造技术为了满足航空航天、集成电子制造、MEMS iMicro-Electro-Mechanical Systems)等高技术发展的要求，对加工精度和加工 质量提出了更高的要求。精密加工技术是国家重点资助的研究领域，而高质量的 微进给系统是实现精密加工的关键。本文紧密结合工程实际应用，以精密磨削加 工机床为对象。拟在进一步提高磨床加工精度，其研究具有重要的理论价值和实 用意义。 微进给工作台利用压电陶瓷的逆压电效应，具有比其它致动器更多的优点， 如体积小、位移分辨率高、位移重复性好、响应速度快、输出力大、可采用相对 简单的控制方式等，是目前微进给技术中广泛应用的驱动元件。本文以压电陶瓷 位移特性、平行铰链和控制系统理论为基础，结合微位移传感技术，系统的研究 面向精密加工的压电驱动微进给工作台的设计和应用，开发实用化压电驱动微进 给装置。本文的主要工作及贡献如下： (1)进行了微进给系统的总体方案设计； (2)在柔性铰链分析基础上，设计了整体式微进给用铰链机构，并进行了测试。 对柔性铰链和平行铰链运动副进行建模，并用有限元方法分析了采用柔性铰链的 微进给工作台的静态、动态特性和振动特性； (3)测试了压电陶瓷特性，进行了压电陶瓷性能分析与建模，给出了试验数据； (4)进行微进给工作台的控制系统分析，开发微进给工作台闭环控制系统，以解 决压电陶瓷迟滞、蠕变等非线性因素及外界环境干扰的闭环控制系统并进行了工 作台测试。 在数控车床上应用微迸给工作台进行工件的加工实验，微进给系统具有 ±o．1刖m定位精度，得到Ra值为0．4∥m。理论分析、有限元计算和实验结果说 明了压电驱动微进给工作台系统设计与分析的正确性和有效性。 关键词：精密加工，柔性铰链，压电陶瓷，微进给，有限元，闭环控制 Development Development of Micro-positioning Platform Driven by PZT For Precision Machining ABSTRACT Stepping into the 2 1 st century，with the requirement of aeronautics， integrated electronic manufacture，MEMS，manufacture technology for high precision and high quality is required．Precision machining technology is a research field mainly sponsored by the country，and micro—positioning system with hi。gh performance is the key to realize precision machining．Closely related with the practical problems in engineering，this dissertation deals with positioning worktable for precision grinding machine tool in order to improve machining accuracy． It is highly worth ofresearching and has real engineering value． As its inverse piezoelectricity effect，PZT ceramic may get micro position under DC power and is linear to the voltage of the driven power． PZT ceramic has superior characteristics in micro position system than other actuators，such as small volume，high motion resolution repetition accuracy，rapid motion speed，big output force and relative simple control method，and its a widely used actuator in micro position system．A useful micro precision table in engineering was developed based