泡生法生长蓝宝石.pptVIP

泡生法生长蓝宝石的原理与应用 赵业权教授 泡生法(kyropoulos method)于1926年由kyropoulos发明，经过科研工作者八十年的不断改造和完善，日前是解决晶体提拉法不能生产大晶体的最好方法之一。 其晶体生长 的原理和技术特点是:将晶体原料放入耐高温的坩埚中加热熔化，调整炉内温度场，使熔体上部处于稍高于熔点的状态;使籽晶杆上的籽晶接触熔融液面，待其表面稍熔后，降低表面温度至熔点，提拉并转动籽晶杆，使熔体顶部处于过冷状态而结晶于籽晶上，在不断提拉的过程中，生长出圆柱状晶体。 泡生法与提拉法生长晶体在技术上的区别 是: (l)晶体直径在扩肩时前者的晶体直径较 大，可生长出200 mm以上直径的蓝宝石晶体，而后者则有些难度; （2）晶体方向前者对生长大尺寸、有方向性的蓝宝石晶体拥有更大的优势; ( 3)晶体质量泡生法生长系统拥有适合蓝宝石晶体生长的最佳温度梯度。在生长的过程中或结束时，晶体不与坩埚接触，大大减少了其应力，可获得高质量的大晶体，其缺陷密度低于提拉法生长的晶体， 晶体的生长过程是一个不断的变温过程，晶体内的每一个部分都将随着温度的升高或降低而趋于膨胀或收缩。但由于晶体内温度梯度的存在，热膨胀系数的各向异性，使得晶体内各个部分的膨胀或收缩相匀制约，不能自由的发生，导致热应力的产生，由经典弹性理论，对柱状晶体可推导出径向，轴向的位移分量为: 利用虎克定律，可以求出晶体内的热应力。我们可以判定晶体热应力正比于热膨胀系数，热膨胀系数的各向异性，必将引起晶体内应力分布的不同。蓝宝石晶体的热膨胀系数具有各向异性的特点，随着温度的升高，而增大，在温度1973K时。轴向大约为9. 4x10 -6/k,A轴向大约为8. 4x10 -6/k。为便 于计算，假设蓝宝石的热导率、弹性模量各向同性，即通过生长方向的对比，分析蓝宝石热膨胀系数的各向异性对晶体生长的影响， 所示为晶体生长到一定位置时，热应力Qm与晶体生长方向的对比关系。泡生法生长的晶体，在结晶界面、放肩、收尾及直径发生突变的位置将具有较大的热应力，最大热应力总是出现在籽晶与新生晶体的界面区域。晶体最大热应力随晶体生长方向和生长位置的变化关系。我们可以发现晶体内的热应力强烈的依赖于晶体的生长方向，随径向热膨胀系数的增大而增大。热应力随晶体生长过程的进行先增大，随后逐渐减小。 计算结果晶体中裂纹的起源位置、扩展方向比较吻合。分析认为，在通过调节热交换器散热能力进行晶体的引晶和放肩控制过程中，晶体内的温度梯度、热应力随热交换器散热能力的增大而增大。在通过调节加热温度进行晶体等径生长和冷却控制过程中，晶体内的温度梯度、热应力随加热温度的降低而降低。另外，我们也可以看出，在籽晶新生晶体的界面区域，晶体外形不规则，直径突变以及较高的缺陷浓度等也极易引起应力集中，造成裂 纹萌生 综合蓝宝石计算结果晶体中裂纹的起源位置、扩展方向比较吻合。分析认为，在通过调节热交换器散热能力进行晶体的引晶和放肩控制过程中，晶体内的温度梯度、热应力随热交换器散热能力的增大而增大。在通过调节加热温度进行晶体等径生长和冷却控制过程中，晶体内的温度梯度、热应力随加热温度的降低而降低。 另外，我们也可以看出，在籽晶新生晶体的界面区域，晶体外形不规则，直径突变以及较高的缺陷浓度等也极易引起应力集中，造成裂 纹萌生,计算结果晶体中裂纹的起源位置、扩展方向比较吻合。分析认为，在通过调节热交换器散热能力进行晶体的引晶和放肩控制过程中，晶体内的温度梯度、热应力随热交换器散热能力的增大而增大。 在通过调节加热温度进行晶体等径生长和冷却控制过程中，晶体内的温度梯度、热应力随加热温度的降低而降低。另外，我们也可以看出，在籽晶新生晶体的界面区域，晶体外形不规则，直径突变以及较高的缺陷浓度等也极易引起应力集中，造成裂 纹萌生格结构特点、结晶习性、热性能等对晶体生长的影响，选择a轴为生长方向。从上面的计算中我们知道。 轴向较大的热膨胀系数将引起较大的热力，对提高晶体质量，防止晶体开裂较为不利。实验中尝试通过降低晶体生长、冷却速率，减小放肩角等措施来抑制热应力的不利影响，取得了较好的效果 采用泡生法生长大直径、高质量、尤色蓝宝石 晶体的具体工艺如下: 1. 将纯净的a-Al2o3 :原料装入坩埚中。坩埚上方装有可旋转和升降的提拉杆，杆的下端有一个籽晶夹具，在其上装有一粒定向的无色蓝宝石籽晶 2.将坩埚加热到2 050℃以上，降低提拉杆， 使籽晶插入熔体中; 3.控制 熔体的温度，使液面温度略高于熔点， 熔