扫描近场光学显微镜若干关键技术研究-测试计量技术及仪器专业毕业论文.docx

University University of Science and Technology of China A d issertation for doctor’S deg ree Research on Some Key Problems i n Sca n n i n g N ea r--fi e l d O pti ca l Microscopy Author’S Name： Yunliang Wu Speciality．Test Measurement Technology and Instrument Supervisor：Prof．Keyiev l Wan Finished time：December 14伽，20 1 0 中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 中国科学技术大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 果。除已特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含任何他人已经发表或撰写 过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了明确 的说明。作者签名：邋 作者签名：2、丛【Q 签字日期：2出』旦—缱-』7 中国科学技术大学学位论文授权使用声明 作为申请学位的条件之一，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学拥 有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交 论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文编入《中国学 位论文全文数据库》等有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制 手段保存、汇编学位论文。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。 保密的学位论文在解密后也遵守此规定。 作者躲呈玉k作者签名：≤乏．地—— 翩躲邀 q公开 口保密(——年) 签字日期：—丕L＆叫 签字日期：垒立丛—啤 摘要摘 摘要 摘 要 扫描近场光学显微镜(Scanning Near．field Optical Microscopy，SNOM)是将 扫描探针显微镜技术移植到了光学领域，从而得到超衍射极限分辨率的光学图 像。经过几十年的发展，SNOM横向分辨率大大的提高了，已经从最初的几十 纳米提高到十几纳米，并且扫描成像的稳定性很高。虽然SNOM的分辨率比 STM、AFM低，但其长处在于能获得样品亚波长分辨的光学图像，在多个研究 和产业领域都有着广泛的应用。本文从传统SNOM中存在的扫描非线性，扫描 速度慢等问题出发，搭建了基于双DSP控制系统和扫描头模块化的SNOM系统， 建立了非线性校正的模型及算法，设计并初步实验了一种高速扫描的石英片．光 纤探针组件，和设计了一种基于四个压电陶瓷管的新的XYZ扫描台系统。 本文的研究工作主要包括以下几个方面： l、搭建了以DSP为核心的插板式的SNOM控制系统，为近场光学领域内 的研究提供了一个良好的平台。主要模块包括控制扫描和各种信号采集的DSP 主控板，探针．样品距离的DSP反馈控制板，用于提供给反馈信号的相位检测控 制板等。完成了XY扫描控制算法，和探针．样品距离控制的PID算法。 2、分析了SNOM扫描器产生非线性的原因，建立了SNOM扫描非线性校 正模型，完成了用于非线性校正的软件预校正算法，有效的改善了图像的非线性。 设计了一种基于实时监测探针位置附加系统，用于非线性校正的扫描头，预先采 集不同电压下探针的位置数据，并通过二次多项式拟合算法和神经网络算法对位 置．电压数据进行了处理，得到能输出线性位移的电压．位移模型。 3、提出了一种高频石英片．光纤探针结构，可以显著提高SNOM扫描速度。 利用二阶机械系统模型分析了音叉探针．样品距离控制的原理，比较得出用相位 信号来作为反馈信号比振幅信号有更好的响应速度，分析得出SNOM扫描速度 慢的主要因素来源于音叉探针，于是我们设计了一种石英片．光纤探针，并尝试 了多种粘针方法，测试了其谐振频率，Q值等各种性能。 4、由于单个压电陶瓷管弯曲量比伸长量大很多，设计了四个雎电陶瓷管通 过柔性铰链连接样品台的新扫描台结构，可以使样品台满足XYZ各个方向均有 较大的动态范围。并用有限元方法对其进行了静态和动态性能的仿真分析。通过 对样品台XYZ位移的测量，验证了理论仿真的正确性。 关键词：扫描近场光学显微镜，非线性，高速扫描，扫描台 Abstract————————————————————————-—————————————————————一 Abstract ————————————————————————-—————————————————————一 一一一一一 ABSTRACT With the help of scanning probe t