阵列式芯片特定区域内微流体加热研究-压电与声光.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３９ ５ Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．５ 　 　 　 　 年 月 ２０１７ １０ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｏｃｔ．２０１７ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１７０５０７９００４ 　　 阵列式芯片特定区域内微流体加热研究 １ ２ 王保成 ，章安良 （ 襄阳职业技术学院 电子信息工程学院，湖北 襄阳 ； 常州工学院 电气与光电子工程学院，江苏 常州 ） １． ４４１０２１２． ２１３０３２ 摘 要：提出了阵列式芯片特定区域内微流体的加热方法，研制了４×４阵列式聚二甲基硅氧烷芯片及其特定 　　 　 区域的加热组件。在 基片上光刻 个叉指换能器，其激发的 驱动压电基片上油相流体，使 １２８°犢犡ＬｉＮｂＯ３ １６ ＳＡＷ 其输运到待加热区的传热柱上，在油相流体两侧的叉指换能器上加电信号，激发 ＳＡＷ加热油相流体，并通过传热 柱加热阵列式芯片受热区内微流体。以石蜡油微流体为实验对象进行阵列式芯片特定区域微流体加热实验，结果 表明， 可有效加热阵列式芯片特定区域内石蜡油微流体，在 电信号功率作用下，使 石蜡油 ＳＡＷ ３０．０ｄＢｍ ７．５ Ｌ μ 温度从 ２２．３℃上升到 ３３．５℃。 关键词：声表面波；叉指换能器；阵列式芯片；微流器件；加热 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３７１ Ａ 　　　 犛狋狌犱 狅狀犕犻犮狉狅犳犾狌犻犱犻犮犎犲犪狋犻狀 犻狀犪犛犲犮犻犳犻犮犃狉犲犪狅犳犪狀犃狉狉犪 犆犺犻 狔 犵 狆 狔 狆 １ ２ ， 犠犃犖犌犅犪狅犮犺犲狀 犣犎犃犖犌犃狀犾犻犪狀 犵 犵 （ ， ， ， ； １．ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ Ｘｉａｎ ａｎ ＶｏｃａｔｉｏｎａｌａｎｄＴｅｃｈｎｉｃａｌＣｏｌｌｅｅ Ｘｉａｎ ａｎ ４４１０２１ Ｃｈｉｎａ ｇ ｇ ｇｙ ｇ ｇ ｇｙ ｇ ，