离子注入光电晶体平面和条形波导的研究-凝聚态物理专业论文.docx

山东大学博士学位论文中文摘要 山东大学博士学位论文 中文摘要 光波导作为集成光学的基本单元，以其独特的性能、高集成化以及规模生产 的低成本，在各种光器件的制造中起着重要的作用。由于光波导的重要应用价值， 人们一直在探索有效的方法来制备具有优良性能的光波导。离子注入作为一种有 效制备光波导的技术，引起了人们广泛的关注，迄今为止，人们已经利用离子注 入技术在包括光学晶体、玻璃、半导体以及有机聚合物在内的大量光学材料中形 成了光波导结构，取得了许多进展。 利用离子注入在铌酸锂、钒酸钇等晶体上形成的波导结构，不仅在射程末端 有折射率降低，在某一双折射方向上还存在波导区域折射率增加的现象。利用这 一现象可以通过离子注入在许多光电晶体上形成性能更优良的波导结构，同时可 以降低注入剂量，大大降低制造成本。因此研究离子注入光学材料波导区折射率 增加现象不仅有重要的理论意义。而且具有潜在的应用前景。 条形光波导是光波耦食器、波导调制器、波导开关以及波导激光器等无源器 件和有源器件的基础。探讨离子注入条形光波导的制备不但是光波导应用研究的 基础，还可以拓展核技术在光电子领域的应用。 本文主要研究利用离子注入方法在铌酸锂(LiNb03)晶体、钽酸锂(LiTa03) 晶体、铌酸钙钡(CBN)晶体、掺钕的钒酸钇(Nd：W04)晶体和磷酸钛氧铷(RTP) 晶体等光学材料上形成光波导．通过对光波导的导波模式和退火行为的研究，优 化离子注入光波导的形成条件；用卢瑟福背散射／沟道技术研究了光波导中的损 伤分布，对离子注入光学晶体材料折射率增加的形成机理进行了探讨；成功的利 用离子注入形成了条形光波导，得到了波导的近场光强分布。主要结果如下： 铌酸锂(Limb03)晶体是一种集电光、声光、光弹、非线性等效应于一体的性 质优良的铁电晶体。用能量为3．0MeV，剂量为4x1014ions／cm2的B离子注入到 LiNb03晶体中，异常光形成了波导区折射率增加的光波导并观察到了高于衬底 折射率的传输模式。采用RCM法拟台了注入后波导区的折射率分布，同样得到 了异常光折射率增加的结果。我们把这～现象归因于离子注入造成的LiNb03晶 山东大学博士学位论文体的晶格扰动，引起了异常光‰折射率的增加和寻常光％折射率的降低。 山东大学博士学位论文 体的晶格扰动，引起了异常光‰折射率的增加和寻常光％折射率的降低。 钽酸锂(LiTa03)晶体具有和铌酸锂(LiNb03)晶体同构，两者具有相似的性质。 钽酸锂晶体抗光折变能力比铌酸锂晶体大两个数量级。钽酸锂是制造光波导和声 波器件的优良衬底。用能量为6．0MeV，剂量为3x10’．~lxl0坫ions／era2的C离子 注入到LiTa03晶体，形成了光学位垒型的平面光波导。采用RCM法拟合了注入 后波导区的折射率分布，发现与LiNb03晶体比较在LiTa03晶体没有发现波导区 异常光折射率增加的现象。经过讨论我们认为对与单轴晶体总的由离子注入引起 的折射率变化为出。它由两部分组成：由晶格畸变造成的折射率改变砒，这一 部分与晶体的双折射和方向有关：另一部分是由注入损伤引起的折射率减／bAng。 LiNb03晶体和LiTa03晶体不同的双折射现象造成了离子注入波导折射率的不同 分布。在1539nm波长下测量了波导的暗模特型，发现了传播模式随注入剂量增 加的现象。 铌酸钙钡晶体(CBV0与铌酸锶钡晶体(SBN)类似，属于部分填充的钨青铜结 构(TTB)，具有驰豫型铁电相变和较大的电光效应。研究发现铌酸钙钡(CBN) 晶体与锶酸锶钡(SBN)晶体由许多相似之处，其主要区别在于不同的相变点和 双折射。经测试发现CBN的相变点在280。C左右，比SBN．60的相变点将近高 了200。C，这使得CBN晶体在稍高温度的环境应用中占有更多的优势。我们用 能量为2．8MeV，剂量为1×1016ionslcm2的He离子注入到CBN晶体中，首次在 CBN晶体上形成了光波导结构。在633nm和1539nra的波长下，都发现了异常 光折射率大于注入前衬底折射率的传输模式。采用RCM法拟合了注入后波导区 的折射率分布，通过对寻常光疗。和异常光％折射率的拟合我们发现：He离子在 光学位垒区域造成寻常光‰折射率降低了4．1％，异常光m折射率降低了3．1％： 在波导区异常光nc折射率有明显的增加。利用端面耦合技术测量了CBN光波导 的损耗，并且得到了较好的传播模式端面光强分布。 利用光刻胶在LiNb03晶体表面形成掩模，我们采用2．2+1．8+1．6MeV的O 离子，进行多能量注入，总注入剂量为6x10Hions／cm2，在注入过程之后，样晶 在氧气保护下在260。C退火30分钟，利用光学端面耦合系统对平面和条形光波 导中传输光线的近场光强分布进行了分析，得到了比较理