关于硅材料的介绍-公开课件.pptVIP

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  • 2019-05-17 发布于广西
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硅材料类别及其用途 张光春 2007-07 硅材料的分类 多晶硅棒/块 (一般是用有西门子工艺生产) 粒状多晶硅 (使用流化床工艺生产) 单晶硅棒 (是用直拉工艺或区熔工艺生产的) 多晶硅锭 (一般是用浇铸工艺或定向凝固工艺生产的) 头尾料 (从单晶棒上切下来的两头) 边皮料 (从多晶锭上切下来的边皮) 锅底料 (拉制单晶硅棒结束时剩在石英坩埚内的硅料) 硅粉 (在还原炉中,未长在硅棒上的多晶硅) IC抛光单晶硅片(晶圆) 太阳能电池用单晶硅片(准方型) 太阳能电池用多晶硅片(方型) 碎硅片 (IC或半导体或太阳能电池生产中的废品) 谢谢大家!!! * 从形态上讲分为: 多晶硅棒/块(一般是用西门子工艺生产的) 粒状多晶硅(使用流化床工艺) 单晶硅棒(一般是用直拉工艺或区熔工艺生产的) 多晶硅锭(一般是用浇铸工艺或定向凝固工艺生产的) 头尾料(从单晶棒上切下来的两头) 边皮料(从多晶锭上切下来的边皮) 锅底料(拉制单晶硅棒结束时剩在石英坩埚内的硅料) 硅粉(在还原炉中,未长在硅棒上的多晶硅) IC抛光单晶硅片(晶圆) 太阳能电池用单晶硅片(准方型) 太阳能电池用多晶硅片(方型) 碎硅片(IC或半导体或太阳能电池生产中的废品) 从纯度上可以分为: 金属硅 太阳能级硅 IC级高纯多晶硅。 多晶硅硅芯(硅芯外面沉积着一层多晶硅) ≥100 ≥300 ≥500 N型少子寿命

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