低气压容性射频放电中电流密度对鞘内离子能量通量的影响.PDF

26 卷 5 期 中 国 电 机 工 程 学 报 Vol.26 No.5 Mar. 2006 2006 年3 月 Proceedings of the CSEE 2006 Chin.Soc.for Elec.Eng. 文章编号：0258-8013 （2006 ）05-0164-06 中图分类号：TN405 文献标识码：A 学科分类号：47040 低气压容性射频放电中电流密度 对鞘内离子能量通量的影响 李志刚，丁玉成 （西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，陕西省西安市 710049 ） Effect of Current Density on Sheath Ion Energy Flux in Low-pressure Capacitive Radio Frequency Discharges LI Zhi-gang, DING Yu-cheng （State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xian Jiaotong University, Xian 710049, Shaanxi Province, China ） ABSTRACT: The relation between low-pressure capacitive 用离子浓度 总鞘电势差的表达式推出到达材料表面时离 RF (radio frequency) discharge current density and the ion 子的能量通量与射频驱动电流密度的关系式。驱动电流密度 energy flux when reaching the material surface is investigated. 对鞘内离子能量通量起激励作用：随驱动电流密度增加，离 Based on Liebermans RF sheath model, the time-average total 子能量通量单调增加。时间平均的鞘电势差与驱动电流密度 sheath potential difference from plasma bulk to the material 的关系实验与理论模型进行了比较，结果呈现较好的吻合， surface is calculated to extend Liebermans model. Using the 为理论分析的正确性提供了证据。 expressions for ion density and total sheath potential difference, 关键词：射频放电；等离子鞘；离子；能量通量；电流密度 the relation between ion energy flux when reaching the material surface and the driving RF current density is derived. 1 引言 The driving current density plays an impelling effect on sheath 由射频（RF, radio frequency ）放电产生的低气 ion energy flux. With the increasing driving current density, the 压容性射频等离子体已在微电机系统 （MEMS ）、 ion energy flux increas