低维纳米金属氧化物半导体敏感特性的研究.DOC

PAGE PAGE 1 附件2 论文中英文摘要 作者姓名：漆奇 论文题目：低维纳米金属氧化物半导体敏感特性的研究 作者简介：漆奇，男，1980年10月出生，2006年09月师从于吉林大学张彤教授，于2009年06月获博士学位。 中 文 摘 要 金属氧化物半导体纳米和超晶格结构在结构组装、化学吸附、载流子传输等方面的优异特性使之成为构筑高性能化学传感器的新希望。利用一维纳米结构比表面积大和结构各向异性的优点来改善敏感特性已成为化学传感器领域的研究热点。本博士论文利用水热和静电纺丝技术制备了氧化物半导体（ZnO、SnO2 和TiO2）和敏感活性物质-氧化物半导体复合材料的低维纳米结构，系统地研究了这些低维材料的湿度和气体敏感特性，并构筑了基于低维纳米氧化物半导体的高性能湿度和气体传感器。深入研究了低维纳米氧化物半导体的结构（形貌、尺度等）和敏感特性的关系，基于低维材料结构和复阻抗解析结果提出新的气湿敏感知机理，为新型低维敏感材料的设计和高性能纳米化学（气体和湿度）传感器的构筑奠定了实验和理论基础。主要创新性工作包括： 一、系统研究了ZnO低维纳米材料的可控制备和气、湿敏特性，设计和制备了KCl/ZnO复合纳米纤维，建立了一维纳米结构提高响应恢复特性的理论模型。主要包括以下工作： 1、通过选择合适的表面活性剂和调控水热合成条件，制备了不同形貌的ZnO纳米材料，分别制作了基于ZnO纳米棒束的湿度传感器和基于哑铃状ZnO微晶的VOC (volatile organic compounds，挥发性有机化合物) 气体传感器。湿度传感器在所测量的全湿度范围内（11%到95% RH）复阻抗变化达到5个数量级，由25% RH到95% RH的响应时间为5 s，恢复时间为10 s；VOC气体传感器对1 ppm丙酮的灵敏度为4，响应时间约为1.5 s，恢复时间约为3 s。结果表明基于ZnO低维结构的传感器具有快速响应恢复特性。 2、首次使用静电纺丝技术制备了KCl/ZnO复合纳米纤维，并研究了其湿敏特性。纯ZnO纳米纤维仅在高湿范围内显示出一定的湿敏特性，且复阻抗在所测的全湿度范围内变化仅为1个数量级；而湿度活性组分KCl（5.7 wt%）的加入显著地提升了ZnO纳米纤维的灵敏度，复阻抗在全湿度范围内变化5个数量级，由25% RH到95% RH的响应时间为2 s，恢复时间为1 s。 3、针对ZnO低维纳米结构能够显著提高传感器的响应恢复特性，提出了如下的理论模型：一维纳米结构为电子的传输提供了特别的通道，减少了电子在传输过程中势阱和势垒之间的“翻越”，有效地提高了响应恢复速度。但在纳米纤维的搭接处仍然存在着一定的势阱和势垒，通过纳米纤维有序定向排布将进一步提高电子的传输速度，从而进一步提高敏感元件的响应和恢复时间。 二、首次制备了表面多孔的SnO2纳米纤维，提出了改善低维材料敏感特性的新方法。 使用模板剂P123制备了具有表面多孔结构的SnO2纳米纤维。与未使用模板剂的纳米纤维相比，比表面积提高了一个数量级（18.025 m2/g→113.261 m2/g）。基于SnO2多孔纤维的气体传感器对NH3、C2H5OH、CH3COCH3和C6H5CH3等气体的灵敏度均有明显提高，在280 气敏材料的多孔结构对改善传感器的灵敏度和选择性具有至关重要的意义。一维材料的多孔化可以进一步提高比表面积，不但促进了待测气体的吸附和反应，而且为实现敏感活性物质的组装提供了可能。这种方法具有一定的普适性，可以扩展到其他低维纳米敏感材料体系，是提高传感器灵敏度和选择性的有效手段。 三、制备了KCl/TiO2纳米纤维，首次研究了TiO2晶型对湿度敏感特性的影响。 利用静电纺丝法制备了KCl掺杂的TiO2纳米纤维，通过烧结温度调控TiO2纳米纤维的晶型来对不同晶型(锐钛矿、锐钛矿金红石混合、金红石)的TiO2纳米纤维湿敏特性进行研究，结果发现混合晶型的KCl/TiO2纳米纤维具有更高的灵敏度和更快的响应恢复速度，传感器在全湿度范围内复阻抗变化4个数量级，且由25% RH到95% RH的响应时间为3 s，恢复时间为4 s。分析了混晶结构对TiO2湿敏特性的影响，提出了不同晶型晶粒间的电场对水分子解离的促进效应。 四、设计了一种新颖的三电极共平面型微结构气体传感器，并实现了微小芯片非接触式表面温度的测量。 本着降低气体传感器功耗的目的，将信号电极和加热电极设计在硅基底的同一个平面上，基于该结构的乙醇传感器的功耗为市售烧结型传感器的50%，而且可以与敏感材料的成膜工艺相结合，有望实现工业化大批量生产。首次提出了基于辐射功率的微热板测温系统，该系统能够以非接触方式测量微热板表面微小区域(20×20 μm2)的温度，实验结果与Ansys模拟结果完全一致。该方法测温范围广(可达