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微电子器件工艺学 微电子科技的重要性 微电子技术已经渗透到社会的各个领域，影响面极广，发展微电子技术是当今高科技发展的关键问题 微电子科学是固体物理，微电子器件工艺和电子学基础上发展起来的一门新科学 微电子工业是战略性工业 它是技术密集型产业；是投资密集型产业；是电子工业中的重工业。 微电子产业的发展规模和科技水平是衡量一个国家综合实力的重要标志。 发达国家国民经济生产值增长部分的55％与微电子有关。 半导体工业的构成 半导体工业包括材料供应、电路设计、芯片制造和半导体工业设备及化学品供应五大块。 目前有三类企业：一种是集设计、制造、封装和市场销售为一体的公司；另一类是做设计和销售的公司，他们是从芯片生产厂家购买芯片；还有一种是芯片生产工厂，他们可以为顾客生产多种类型的芯片。 微电子技术的变迁 电子管 弗莱明在1904年发明真空二极管，福雷斯特在1912年发明了真空二极管，第一台计算机就是用真空管和继电器在1946年发明的 晶体管 巴丁和布拉顿在1947年发明第一个点接触的晶体管，在1948年，肖克莱提出了结型晶体管理论；在1956年和巴丁，布拉顿一起获得诺贝尔物理学奖 集成电路 1960年，美国人基尔比在1958年发明了第一个锗集成电路；1960年，美国德州仪器公司制造了第一个商用的集成电路；基尔比在2000年获得诺贝尔物理学奖 电子管 电子管又称“