- 6
- 0
- 约8.67万字
- 约 120页
- 2019-05-26 发布于上海
- 举报
独创性声明
本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。
学位论文作者签名:
日期: 年 月 日
学位论文版权使用授权书
本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。
本论文属于
保密□, 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。
(请在以上方框内打“√”)
学位论文作者签名: 指导教师签名:
日期: 年 月 日 日期: 年 月 日
华
华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文
I
I
摘 要
大功率射频激励扩散冷却板条 CO2 激光器是当前中厚板激光切割焊接的主力光 源,其电极板兼具射频放电、扩散冷却、光学波导等三方面功能,电极超精密加工 以及表面膜层特性是制约激光器的核心关键技术。本文分析了电极表面 Al2O3 镀膜层 的热传导、光波导损耗及反常色散效应、进行了膜层结构设计;采用热丝化学气象 沉积(HFCVD)和磁控溅射镀膜技术,深入研究了铜电极表面沉积 Al2O3 波导介质 膜的物理化学机理、工艺参数、膜层微观结构、表面损耗、光学特性等;激光器放 电实验测试了成品铜电极表面 Al2O3 波导介质膜实际工作性能。主要研究内容如下:
根据射频板条 CO2 激光器平板波导本征模式,结合非稳-波导混合腔结构,计算 了铜表面和 Al2O3 介质膜对 CO2 激光波导传输模式损耗系数 ?TE 、 ??TM ,其中铜表面
??TE =1.74e-06 和 ??TM =9.45e-05;Al2O3 膜表面??TE =1.68e-06 和 ??TM =2.95e-06。深入研
究了 Al2O3 介质膜的 CO2 激光波导传输反常色散效应及耐高温、抗氧化、抗激光溅 射特性。结果表明,A12O3 介质膜对 CO2 激光是一个理想的光波导陶瓷薄膜,是板 条电极膜层的最佳选择。
分析计算了电极表面 Al2O3 膜层热传导特性,根据 2kW 射频板条 CO2 激光器电 极内置式水道扩散冷却机理,推导四层介质热传导过程,结果显示:Al2O3 镀膜层厚 度为 5 微米时,激光器工作状态镀膜电极表面最高温度 300.4℃,铜电极表面最高温 度 299℃,镀膜层温差不到 2℃,从理论上证实电极表面 Al2O3 膜层不影响扩散冷却 效果;设计了一种铜基体上镀 Al+ Al2O3 的梯度膜层结构,有效的解决了膜层的结合 强度、电极的散热、膜层自修复等问题。
实验研究了铜表面高温化学气相沉积 Al2O3 膜层工艺及光学特性。以 AlCl3、H2、 CO2 为反应物、H2S 为催化剂,800°C 下在铜表面制备 Al2O3 膜。物相分析结果表明 膜层由 α-Al2O3 和 γ-Al2O3 混合晶相组成。光谱仪测试结果表明,入射角 10°~80° 时,膜层对 10.6μm 入射光的反射率平均 85%;验证了 Al2O3 对 CO2 光波的反常色散 效应。但是高温镀膜工艺容易造成电极焊点脱落及热变形,不适合板条电极镀膜。
II
II
重点深入研究了铜表面低温磁控溅射制备 Al2O3 波导介质膜。以纯 Al 为靶材、
工作气体氩气(Ar)、反应气体为 O2,制备 Al2O3 膜。宏观形貌分析表明氧氩比是膜 层颜色关键影响因素,氧氩比在 1:10~1:4 范围变化时,镀膜层的颜色变化依次为黑 色—深灰—亮灰白—透明;微观分析表明镀膜层主要成分为 Al 和 O;原子数 Al:O, 远大于 2:3,膜层结构为 Al+ Al2O3,满足电极镀膜层结构设计;测试了不同角度下 的反射率,在掠入射角为 10°~80°时,Al2O3 膜层对波长为 10.6 微米的 CO2 光波 的最高反射率为 85%。
研究了不同状态镀膜层在 2kW 射频板条 CO2 激光器放电稳定性及光波导效果, 检测了放电时间对电极表面特性的影响。长时间放电测试表明,镀膜电极激光器的 电光转换效率由 10.4%上升到 11.2 %。裸铜电极激光器的电光转换效率则由 6.5%下 降到 4.4 %。镀膜电极波导损耗由 1.51dB/m 降到 1.12dB/m;裸铜电极波导损耗由 1.69 dB/m 升到 3.52 dB/m。分析表明,放电过程有助于镀膜层内 Al 氧化生成 Al2O3 实现 膜层自我修复与增强且不影响放电稳定性。
关键词:射频板
您可能关注的文档
- 论辩诉交易制度在中国的引入-法律学专业论文.docx
- 论私分国有资产罪的司法认定-法律专业论文.docx
- 论TRIMs协议与中国外资立法的重构-经济法学专业论文.docx
- 论公共权力的制约-法律硕士专业论文.docx
- 论可持续旅游发展的自组织问题-旅游管理专业论文.docx
- 论民事执行程序中的拍卖-法律专业论文.docx
- 论网络隐私权-民商法学专业论文.docx
- 论冷战后美国对非洲政策的演变及影响-国际关系专业论文.docx
- 升降法估计方法的比较讨论 概率论与数理统计专业论文.docx
- 论检察官的客观公正义务-法律专业论文.docx
- 质量事故处理管理规定.doc
- 广东省广州市南沙区2020-2021学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 广东省广州市2022-2023学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 广东省广州市黄埔区2023-2024学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 广东省广州市花都区2022-2023学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 广东省广州市黄埔区2022-2023学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 广东省广州市番禺区2021-2022学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 广东省广州市白云区2021-2022学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 广东省广州市番禺区2019-2020学年八年级上学期期末道德与法治试题(含答案).docx
- 2025-2026学年河南省信阳市息县关店理想学校七年级(上)期末数学模拟试卷(B卷)_20260117171409.doc
最近下载
- 桥面系人行道施工方案.docx VIP
- 深川CHINSC S200系列通用矢量变频器说明书.pdf VIP
- (高清版)B-T 230.2-2022 金属材料 洛氏硬度试验 第2部分:硬度计及压头的检验与校准.pdf VIP
- 2024部编版初中历史八年纪上全册重点知识点归纳总结(复习必背).docx VIP
- 2025年招标师信息化与系统集成项目招标方案设计专题试卷及解析.pdf VIP
- 美妆直播间布置方案.docx VIP
- 2025年课件-(已瘦身)大学生创新创业基础(创新创业课程)PPT完整全套教学课件-新版.pptx
- 辽宁省建设工程系列专业技术资格评审标准.pdf VIP
- 2025年10月自考14444小学教师专业发展.试题及答案.pdf VIP
- 七下历史教学计划.docx VIP
原创力文档

文档评论(0)