机器人触觉传感器.PDF

第13章 成分测量传感器 成分量的测量在现代测试技术中占有相当重要的地位，常见的成分量 主要有湿度、浓度、气体成分及含量等等 。 13.1 湿度及其测量 1 湿度与露点 1）湿度 湿度是指大气中水蒸气的含量，即空气的干湿程度。通常采用绝对湿度和相 对湿度两种方法来表示。绝对湿度是单位大气中所含水蒸气的绝对含量或者浓 度（或密度），其单位为g/m3 ，一般用符号AH表示；相对湿度是指被测气体 中的水蒸气压和该气体在相同湿度下饱和水蒸气压的百分比，一般用符号 %RH表示。 2 ）露点 降低温度可以使未饱和水蒸气变成饱和水蒸气，即湿度达到100%RH。露点 就是使大气中原未饱和水蒸气变成饱和水蒸气所需要降低的温度，而露点跟 大气中水蒸气的含量有关。 2 湿度传感器及分类 图13-1 湿度传感器的类型 3 常见水分子亲和力型湿度传感器的工作原理 1）电解质湿度传感器 传感器中湿敏材料电解质溶液中离子的导电能力与溶液浓度成正比，即当 传感器置于某湿度环境下，如果环境相对湿度较高，则湿敏材料将吸收水分 从而使溶液浓度降低，使电解质溶液导电能力降低，因此使湿敏材料电阻率 增高；反之，如果环境相对湿度较低，则环境将从湿敏材料中吸收水分从而 使溶液浓度升高，使电解质溶液导电能力增大，因此使湿敏材料电阻率降低。 2 ）MOS陶瓷湿度传感器 当水分子吸附在MOS半导体上时，使半导体陶瓷表面层电阻值发生变化。 由于氧化物材料的不同，半导体陶瓷湿敏元件分为负特性湿敏半导瓷和正特性 湿敏半导瓷。 3 ）MOS膜式湿度传感器 通过一定方式喷撒或涂敷在陶瓷基片上的MOS膜式湿敏元件（瓷粉）的阻值 随湿度的变化相当剧烈。无论是负特性湿敏瓷粉还是正特性湿敏瓷粉，其阻值 总是随湿度的增高而急剧下降。即MOS膜式湿敏元件具有负特性。只要能测得 MOS膜式湿度传感器中湿敏元件的阻值，即可测得湿敏元件所处环境的湿度。 4 ）高分子湿度传感器 高分子湿度传感器重要是利用具有感湿特性的高分子聚合物的迅速吸 湿和脱湿能力而作成的湿度传感器。 （1）高分子电容式湿度传感器 图13-2 高分子电容式湿度传感器 （2 ）高分子电阻式湿度传感器 高分子电阻式湿度传感器主要使用高分子固体电解质材料做成感湿膜，由于膜 中的可动离子而产生导电性，随湿度的增加，其电离作用增强，使可动离子的 浓度增大，电极之间的电阻值减小。当湿度减小时，其电离作用减弱，使可动 离子的浓度减小，电极之间的电阻值增大。这样，湿度传感器对水分子的吸附 和释放情况，可根据电极间阻值的变化检测出来，从而测得相应的湿度。 （3 ）石英振动式湿度传感器 在石英晶体片的表面涂敷高分子膜，当膜吸附或释放水分子时，膜的重量 变化而使石英晶体片的振荡频率发生变化，不同的频率代表了高分子膜吸 附不同的水分子含量，因此，可以通过测出石英晶体片的振荡频率来测得 相对应的湿度。 4 常见非水分子亲和力型湿度传感器的工作原理 1）微波式湿度传感器 微波式湿度传感器的工作原理如图13-3所示。 图13-3 微波式湿度传感器的工作原理图 2 ）热敏电阻式湿度传感器 热敏电阻式湿度传感器由两个特性完全相同的热敏电阻R1、R2与 R0及Rp组成电桥。其中R2作为温度补偿元件封入一个小盒内，而 R1用来作为湿敏检测元件。当有电流通过热敏电阻时，热敏电阻 会发热。 工作开始前，在湿度为零的条件下（实际中常常是在干燥的空气情况下）对电 桥进行调零。工作时，使R1跟被测空气接触，由于空气中水分子含量的不同， 相应的其热传导率就会发生变化，则R1的阻值会相应的发生变化，从而电桥 失去平衡，输出不平衡电势Uout 。而输出的不平衡电势跟空气的湿度有一定的 函数关系。具体的测量电路如图13-4所示。 图13-4 热敏电阻式湿度传感器测量电路 13.2 气体成分测量 图13-5 气体成分测量传感器的类型 1 半导体气敏传感器工作原理 半导体气敏元件的敏感部分是金属氧化物半导体微结晶粒子烧结体， 当其表面吸附有被