扫描电子显微镜数字化显像的研究-控制理论与控制工程专业论文.docxVIP

附件一原创性声明 附件一 原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下， 独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本 论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。 埘本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方 式标明。本声明的法律责任由本人承担。 沦文作者签名 日 期： 关于学位论文使用授权的声明 本人完全了解山尔火学有关保留、使川学位论文的规定，同意学校保留或向 国家有关部门或机构送交论文的复EI]4l：和lli子版，允I午论文被套阅年¨借阅；本人授 权山尔人学可以将本学位论文的全部或部分内容编八有关数据库进行检索．可以采 州影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。 (保密论文在解密后应遵守此规定) 沦文作者签名：——导师签名：燃日 期：t巫，7 山东大学硕士学位论文摘 山东大学硕士学位论文 摘 要 扫拙Ib镜是一种能够对表面微观世界进行全面分析的多功能的电子光学 仪器。广1泛应用于现代生物学、医学、地质学、材料科学和半导体技术等各 个学科领域。本课题的主要任务是对Dx一3型扫描电镜进行数字化改造，使其 能够与计算机系统联机，方便图像信号的分析与处理。 水文首先介绍了扫描电镜的基本原理及数字扫描电镜技术、电子束光刻 中f}《J标记检测技术、扫描电镜发展历史、国内外扫描电镜技术的发展及应用 概况，扫描电镜技术的发展前景和趋势，然后较为全面地介绍了DX一3型扫描 电镜的各项技术指标、系统结构等。 扫拙系统是整个扫描电镜系统动念性能的核心，因为其性能的好坏直接 关系到幽形的分辨率、扫拙尺寸的大小及扫描速率，并决定了最终的成像质 量。在扫描系统电路没计中，用我们研究所现有的SDS一2型图形扫描控制器 代奉譬原有的模拟信号发生器，用精密的集成器件代替了原有的晶体管电路， 提高了扫描电路的精度和稳定度。在D／A转换部分，扫描时的子场坐标定位 采用了16Bit数模转换器，予场扫描采用的是12Bit数模转换器，且二者均 选刚了电压输出型DAC，减少了设计中器件的使用量，提高了电路的精度。 放大电路中，电压放大部分采用了高精度快速运放或运放组合，功率放大部 分则采用了动态性能优异的集成功放，在保证整个电路动态性能的同时，提 高了偏放l包路的精度。 提出了扫描电镜数字化图像数据采集系统的设计方案。在本部分中要求 数字化图像数据采集系统能够进行高速数据采集的同时，还能对所采集的图 像信号进行处理，并可通过总线与微型计算机进行高速通讯。该技术要求最 低层的数掘采集系统必须具有高的采样速率，同时能提供更丰富的原始数据 信息。为此，我们在这里采用了一种基于DSP的高速数字图像采集系统，该 方案电路简单、可靠性好、并可以进行多通道扩展。 提出TNN本系统进行电子束光刻标记检测的方案。在电子束直写光刻 工艺。h标记检测和自动套准是必不可少的关键技术。而标记检测『F是建立 箱l页 山东大学硕士学位论文在扫捕电镜技术之L的，通过对初定位标记和精定位标记信号的检测，来确 山东大学硕士学位论文 在扫捕电镜技术之L的，通过对初定位标记和精定位标记信号的检测，来确 定和修,-l：．II-JI+的位置：通过对精定位标记的寻找和检测，以确定硅片上的精 确曝光位置，从而完成电子束光刻的自动套准。 扫描I乜镜的数字化是充分利用现代计算机技术，实现物体表面微观世界 观察和1全面分析的自动化和智能化，扩大扫描电镜的功能的前提。本课题基 本完成了列扫描系统的数字化改造：对数字图像采集和处理系统的改造进行 了深入f门研究，制定了解决方案；并根据电予束直写光刻的特点提出了用本 系统进行标记检测的初步方案，为今后这方面的深入研究积累了一定的经验。 关键词：扫描电镜、二次电子、背散射电子、对准标记 筘2贝 山东大学硕士学位论文ABSTRACT 山东大学硕士学位论文 ABSTRACT Scanning Electron Microscope(SEM)is a multi—function electron-optics instrument．Scanning Electron Microscope now is widely used in biology, medicine，geology,material science，semiconductor technology and many other study fields．This thesis is focused on how to alteration the corresponding parts of the DX一3 Scanning Electron Microscope，make it carl work with computer,thus ca