百级至十万级无尘车间设计-光学无尘车间装修技术方案.pdfVIP

深圳市兴元环境工程有限公司 光学电子是研究电子在电磁场中运动和电子束在电磁场中聚焦、 成像、 偏转等规律的学科， 目前比较常见的有半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等行业。 科技发展日新月异， 对光学电子产品的高精度化和细小化都有了更高的要求。 而这些需求， 都需要在安全科学的无尘室内完成，所以对光学电子无尘车间技术也有了更高的要求。 在对光学无尘室设计前，应加强对光学微电子行业的认识，了解其基础知识和特点，并结 合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情 况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样 才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。 光学无尘室净化工程一般包括： 1 、洁净生产区， 2 、洁净辅助间（包括人员净化用房、物 料净化用室和部分生活用室等）， 3 、管理区（包括办公、值班、管理和休息等）， 4 、设备区 （包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用