射频感应耦合氩等离子体的Langmuir探针和发射光谱诊断-等离子体物理专业论文.docxVIP

大连理工大学硕士学位论文摘 大连理工大学硕士学位论文 摘 要 本实验采用自制Langmuir探针和发射光谱对柱面射频感应耦合氩气等离子体进行 了诊断。实验中，研究了在线圈之间什么也不加时等离子体参数在一定功率下随气压在 轴向、径向的变化规律，同时采用发射光谱测量了Ar原子和离子的发光强度随气压在 轴向的变化规律。还研究了会切场对等离子体参数的影响，测量了有无会切场时等离子 体参数在径向和轴向随气压和功率的变化规律，并且将测量的结果做了比较。 线圈之间什么都不加时，由Langmuir探针的测量结果可知在放电室中上部形成均 匀稳定的高密度等离子体，但是在靶附近有所降低，并且在中部以下等离子体逐渐减弱： 在径向6～7 cm以内等离子体参数变化不大，参数在器壁处变化明显。并且采用发射光 谱测量了等离子体中750．3 nlTI的氩原子的发光强度随气压在轴向的变化规律，还得到了 434．8 rlln的氩离子发光强度随气压在轴向的变化规律和434．8 nln的氩离子与430．0 nnl 的氩原子发光强度的比值在三个不同位置随气压的变化规律。 实验中还研究了会切磁场存在时对等离子体参数的影响。在实验中发现，当线圈之 间加磁铁时存在功率吸收问题，为保证与加磁场时相同的条件，所以在线圈之间加不锈 钢圈来代表无磁场时的情况，以实现相同的功率吸收。经Langmuir探针测量在线圈之 间加会切场后等离子体密