微机电系统概论-1..pptVIP

微机电系统 闪明才 主要内容 1、微机电系统概论 2、微机电系统功能材料 3、微机械加工制造技术 4、微机械执行器 5、微机械传感器 6、微机械弱信号检测与处理 7、微机电系统设计技术 8、微封装、微构件及微尺寸效应 参考书 莫锦秋 梁庆华等，《微机电系统设计与制造》，化学工业出版社，2004.3 刘广玉 樊尚春等，《微机械电子系统及其应用》，北京航空航天大学出版社，2003.2 （美）徐泰然著，王晓浩等译《MEMS和微系统—设计与制造》，机械工业出版社，2004.1 梅涛 伍小平主编，《微机电系统》，化学工业出版社，2003.1 [德]W.Menz J.Mohr等著，王春海 于杰等译《微系统技术》，化学工业出版社，2003.9 第一部分 微机电系统概论 （微机电系统的起源、国内外发展现状及应用） 简 介 机械与机电系统；宏观机电系统与微机电系统 微机电系统： 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的、可以活动和控制的、机电合一的微机械装置。 特点： 1、学科交叉（力学、机械、电学、光学、电磁学、生物、化学等学科）2、微型化、集成化和智能化；3、低成本批量化；4、应用广泛（军民两用）5、高新技术。 微机电系统的相关术语： ME