微电子技术的发展现状与趋势.ppt

微电子技术发展现状与趋势西北大学信息科学与技术学院张志勇;微电子技术的战略地位与作用 微电子技术的发展历史与现状 微电子技术的发展规律与趋势;电 子 学; 微电子技术的核心—— 集成电路 （Integrated Circuit，缩写IC） 通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能。 ;微电子技术的战略地位与作用;微电子技术——信息社会发展的基石;1991年的海湾战争 双方出动军队100多万人，经历42天，伊拉克伤亡10多万人（其中死亡2万多人），被俘17.5万人，击毁了3700多辆坦克、2600多门火炮、2400多辆装甲车和243架飞机（其余的147架飞机紧急转移到伊朗才免遭厄运）。 多国部队出兵80多万人，死亡149人（其中美军79人），伤513人，出动10万余架次飞机，仅损失45架（包括非战斗损失9架）。 硅片打败了钢铁！;世界第一台通用电子计算机--ENIAC;这样的计算机能够进入办公室、车间、家庭和我们的手提包里？当时有的科学家认为全世界只要4台ENIAC就足够了。 目前，全世界计算机不包括微机在内有几百万台，微机总量约6亿台，每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年工作量。;集成电路的战略地位首先表现在当代国民经济的“食物链”关系：;;统计数据表明：发达国家在发展过程中都有一条规律 ★ 集成电路（IC）产值的增长率（RIC）高于电子工业产值的增长率（REI） ★ 电子工业产值的增长率又高于GDP的增长率（RGDP） 一般有一个近似的关系： RIC≈1.5~2REI REI≈3RGDP;几乎所有的传统产业与微电子技术结合，用集成电路芯片进行智能改造，都可以使传统产业重新焕发青春 全国各行业的风机、水泵的总耗电量约占了全国发电量的30%，仅仅对风机、水泵采用变频调速等电子技术进行改造，每年即可节电500亿度以上，相当于三个葛洲坝电站的年发电量(170亿度/年) 对白炽灯进行高效节能改造，并假设推广应用30%，所节省的电能相当于三座大亚弯核电站的年发电量(139亿度/年);电子装备更新换代都基于微电子技术的进步，其灵巧（Smart）的程度都依赖于集成电路芯片的“智慧”程度和使用程度 ;没有微电子的电子工业只能是劳动密集型的组装业，不能形成高附加值的知识经济，中国的硅谷将是无芯的硅谷;4、微电子产业的战略重要性; 微电子技术的发展水平和微电子产业的规模已经成为衡量一个国家综合实力强弱的重要标志！;微电子技术的发展历史与现状;理论推动 19世纪末20世纪初发现半导体的三个重要物理效应 光电导效应 光生伏特效应 整流效应 量子力学 材料科学 需求牵引：二战期间雷达等武器的需求;1946年1月，Bell实验室正式成立半导体研究小组, W. Schokley，J. Bardeen、W. H. Brattain Bardeen提出了表面态理论， Schokley给出了实现放大器的基本设想，Brattain设计了实验 1947年12月23日，第一次观测到了具有放大作用的晶体管;1947年12月23日 第一个晶体管 NPN Ge晶体管 W. Schokley J. Bardeen W. Brattain ;晶体管的三位发明人：肖克莱、巴丁、布拉顿;集成电路的发明;获得2000年Nobel物理奖;微电子发展史上的几个里程碑;第一个CPU--Intel 4004;Intel 8088;Intel 386;Intel 486;Pentium;P6 (Pentium Pro----高能奔腾);Intel Pentium 840EE 双核处理器 ; 2007年1月英特尔推出45nm正式量产工艺，45nm技术是全新的技术，可以让摩尔定律至少再服役10年。; 0.5?m;多层铜互连技术 已实现9层互连， Intel Pentium 840EE 双核处理器采用的是7层互连技术。 ;;微电子技术发展规律与趋势;微电子发展的规律;1,000,000;存储器的性能和工艺复杂程度也符合摩尔定律;由集成电路构成的其它电子系统也同样符合摩尔定律的规律;微电子技术是近50年来发展最快的技术;Moore定律 ?? 性能价格比;发展趋势 ;方向一：继续增大晶圆尺寸和缩小特征尺寸;450mm晶圆的出现，除了生产效率大幅度提高的优势外，同时，对集成电路工艺带来极大的挑战，使集成电路工艺发生全面的转型与提升。;集成电路制造工艺流程;Single die ; 缩小器件的特征尺寸