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单、双、多层增透膜的原理及应用
(转载自网络并整理)
单层λ/4增透膜
λ/4的光学增透膜(下面讨论时光学元件用玻璃来代替, 初始入射介质用空气来代替), 一般为在玻璃上镀一层光学厚度为λ/4的薄膜,且薄膜的折射率大于空气的折射率, 小于玻璃的折射率由菲涅耳公式知, 光线垂直人射时, 反射光在空气一薄膜界面和薄膜一玻璃界面都有半波损失设空气、镀膜、玻璃的折射率分别为n0,n1,n2 且n2n1n0定义R01,T01为空气-薄膜界面的反射率与透射率,R01,T01为薄膜-空气界面的反射率与透射率,R12,T12为薄膜-玻璃界面的反射率与透射率, R21,T21为玻璃-薄膜界面的反射率与透射率如图4-1所示示, 为了区分人射光线和反射光线, 这里将入射光线画成斜入射,图4-1中反射光线1和2的光程差为λ/2, 这样反射光便能完全相消由菲涅耳公式知道, 光垂直通过界面时, 反射率R和透射率T与折射率n的关系为:
设人射光的光强为I0, 则反射光线1的光强I1=I0R0, 反射光线2的光强I2=I0I01R12T10。余下的反射光的光强中会出现反射率的平方, 因为反射率都比较小, 故可不再考虑。λ/4的光学增透膜使反射光线1与反射光线2的光程差为δ=2n1d1=λ/2, 故相位差为л, 由干涉理论知, 干涉后的光强为:
因为折射率n0,n1,n2比较接近,例如n0=1,n2=1.5的界面,T=96%,故可近似地取T01和T10为1,若使Ip为0 ,则有R01=R12,即:
由n2n1n0得,当上式成立时,反射率最小,透射率最大。但是涂一层膜也有不足之处,因为常用的λ/4光学增透膜MgF2,MgF2的折射率为1.38,1.38*1.38=1.9044,而玻璃的折射率一般在1.5~1.8之间,所以用MgF2增透膜不能使反射光光强最小,再者,一波长为λ+Δλ的光垂直入射到λ/4的光学增透膜同波长为λ的光一样反射光线1和反射光线2的光程差为δ=λ/2相位差为ΔΨ=2лλ/2(λ+Δλ)从而干涉后的光强为:,即可选择合适的材料,使I1=I2,从而上式变为。如图4-2所示,I为反射光的光强,Δλ为线宽,I随Δλ的地增加而迅速增加。光学厚度为λ/4的光学增透膜的反射光强随波长的变化曲线呈V形,这样λ/4的光学增透膜的透射率较大的波段就较小, 我们称λ/4的光学增透膜的频宽较小,现代的照像机的镜头、摄像机的镜头, 以及彩色电视机的荧屏并不要求在某一波长的光有很高的透射率, 而希望在较宽的波段范围内透射率较低且一致, 即要求增透膜的频宽较大。所以我们就可以镀两层膜,甚至是多层膜。
21第一层膜玻璃空气
2
1
第一层膜
玻璃
空气
图 4-1
图 4-1
00.40.2IΔλ-200-100200100
0
0.4
0.2
I
Δλ
-200
-100
200
100
图 4-2
图 4-2
双层λ/4膜
在需镀膜的元件上镀两层膜。这里设空气的折射率为n0,镀的两层膜的折射率为分别为n1 和n2, 厚度分别为d1和d2,玻璃的折射率为n3,且有n3n2n1n0。定义R01,T01为空气一第一层薄膜界面的反射率与透射率,R10,T10为第一层薄膜-空气界面的反射率与透射率, R12,T12为第一层薄膜-第二层薄膜界面的反射率与透射率,R21,T21为第二层薄膜-第一层薄膜界面的反射率与透射率,R23,T23为第二层薄膜-玻璃界面的反射率与透射率,R32,T32为玻璃-第二层薄膜界面的反射率与透射率, 入射光线垂直人射到介质上取人射光的振动方程为:。
同λ/4的光学增透膜的一样,我们只讨论反射光线1、2、3的情况。
由n3n2n1n0知,反射光线1、2、3都有半波损,设两层薄膜引起的光程差分别为δ1和δ2,反射光线1、2、3的波动方程分别为:
则干涉点P处的光强为三束光线的叠加
解此方程可得下述结果:
(1)令R01=R12=R23,即有
解得:
取R=R01=R12=R23 ,由于透射光的光强近似为I0,从而:
当且时,有Ip= 0。又δ1=2n1d1,δ2=2n2d2,所以n1d1=λ/6,n2d2=λ/6,故只需选取的材料,分别镀上一层光学厚度为λ/6的薄膜,即可以将反射光尽量减小,就可以达到理想的效果。
镀这样的两层膜,当以波长为λ+Δλ的光垂直入射时,则干涉处的光强为2л/(λ+Δλ),又因为δ1=δ2=λ/3,所以有:
=
=
其结果如图4-3所示,图象呈W形,说明膜层在一定的线宽上普遍获得较好的增透效果。
0.6
0.6
图 4-3
图 4-3
(2)保持n3n2n1n0,取δ1=2n1d1=λ/2,δ2=2n2d2
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