压电式的传感器装置工作.pptVIP

假设在理想情况下，传感器绝缘电阻Ra和前置放大器的输入电阻Ri都为无限大，即等效电阻R为无限大的情况。（电荷没有泄漏、传感器开路）。 则前置放大器输入电压 ： 这样放大器的实际输入电压Vsrm与理想情况的输入电压Vam之幅值比为： 令T＝R (Ca+Cc+Ci)—测量回路的时间常数。 传感器的电压灵敏度 ： 因为 ，则 结论： （1）当ω＝0（作用在压电元件上的力是静态力），则放大器输入电压等于零，这意味着电荷被泄漏，从原理上这时压电传感器不能测静态量； （2）当 ，可近似看作放大器输入电压与作用力的频率无关，（被测物理量变化频率越高越能满足上述条件），可见压电式传感器高频响应非常好。 （3）为扩大低频响应范围，必须尽量提高回路的时间常数，但不能提高电容，否则电压灵敏度会下降，因此只能提高电阻。主要取决于前置放大器的输入电阻，放大器输入电阻越大，测量回路的时间常数越大，传感器的低频响应越好。 电压放大器电路简单，元器件少、价格便宜、工作可靠，但电缆长度不能长，增加电缆长度会降低传感器的电压灵敏度，而且不能随便更换出厂时规定的电缆，一旦更换电缆，必须重新校正灵敏度，否则将引起测量误差。 二、电荷放大器 Q Ca Cc Ci Cf Rf Usc K 电荷放大器实际上是一个具有深度负反馈的高增益运算放大器。 当放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相当大时，放大器的输出电压Vsc正比于输入电荷Q。 式中 Ca—传感器压电元件 的电容； Cc—电缆电容 Ci—放大器输入电容 Cf—放大器反馈电容 k—放大器的开环增益 当k足够大，则： 则 ： 电荷放大器的输出电压仅与电荷量和反馈电容有关，只要保持反馈电容的数值不变，输入电压就正比于输入电荷量，且当（1+K）Cf 10（Ca+Cc+Ci）以上时， ① 可认为传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆和使用较长电缆（数百米）时，无需重新校正传感器灵敏度。 Rf（约1010～1014Ω）提供直流反馈； 电荷放大器的时间常数RfCf相当大（105S以上），下限截止频率fL=1/(2πRfCf) ，低达3×10-6Hz，上限频率高达100KHz，输入阻抗大于1012Ω，输出阻抗小于100Ω。 ② 压电式传感器配用电荷放大器时，低频响应比配用电压放大器要好得多，可对准静态的物理量进行有效的测量。 §7-4 压电式传感器的应用 一、压电式加速度传感器 通过压电元件与质量块的结合，可以构成压电式加速度传感器，压电式加速度传感器常见的结构型式有基于压电元件厚度变形的压缩型和基于剪切变形的剪切型。 （c）梁式 （a）单端中心压缩式 （b）挑担式 1-惯性质量块 2-双压电晶片 3-引线 4-底座 测量过程演示 二、压电式力和压力传感器 按用途和压电元件的组成可分为单向力、双向力和三向力传感器。 左图是压电式压力传感器的结构图，它主要由石英晶片、膜片、薄壁管、外壳等组成。石英晶片由多片叠堆放在薄壁管内，并由拉紧的薄壁管对石英晶片施加预载力。感受外部压力的是位于外壳和薄壁管之间的膜片，它由挠性很好的材料制成。 三、压电式超声波传感器 超声波传感器（又称超声波探头），按其作用原理分为压电式、磁致伸缩式、电磁式等数种，其中以压电式为最常用。 压电式超声波探头是利用压电元件的逆压电效应，将高频电振动转换成高频机械振动，产生超声波（发射探头）。 利用正压电效应将接收的超声波振动转换成电信号（接收探头）。 由此构成的超声波传感器可以测量厚度、液位、流量等。 四、PVDF压电薄膜 聚偏氟乙烯（PVDF）压电膜是本世纪70年代在日本问世的一种新型高分子压电材料。到目前为止，世界上只有少数先进国家生产。它具有独特的介电效应、压电效应、热电效应。与传统的压电材料相比具有频响宽、动态范围大、力电转换灵敏度高、机械性能强度高、声阻抗易匹配等特点，并具有重量轻、柔软不脆、耐冲击、不易受水和化学药品的污染、易制成任意形状及面积不等的片或管等优势。在力学、声学、光学、电子、测量、红外、安全报警、医疗保健、军事、交通、信息工程、办公自动化、海洋开发、地质勘探等技术领域应用十分广泛。产品主要有金、银、铝三个品种，膜厚30—500μm，产品形状、面积大小，可根据用户需要确定，是制作改进压力动态传感器和超声、智能探