扫描电机运动特性参数的非接触测试计量技术研究-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

Nanjing University of Aeronautics and Astronautics The Graduate School College of Automation Engineering Research on the Contactless Measuring Technique of Motion Parameters of the swing motor A Thesis in Instrument Science and Technology by Zhang Jin Yun Advised by Prof. Yao Entao Submitted in Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of Master of Engineering January, 2012 承诺书 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，独立进 行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用的内容外， 本学位论文的研究成果不包含任何他人享有著作权的内容。对本论文所 涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体，均已在文中以明确方式标 明。 本人授权南京航空航天大学可以有权保留送交论文的复印件，允许 论文被查阅和借阅,可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库 进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。 (保密的学位论文在解密后适用本承诺书) 作者签名： 日 期： 南京航空航天大学硕士学位论文 南京航空航天大学硕士学位论文 扫描电机运动特性参数的非接触的测试计量技术研究 扫描电机运动特性参数的非接触的测试计量技术研究 摘 要 扫描电机是激光制造、红外扫描成像等系统的关键部件，要求它要具备高速度均匀性、 高光学稳定性。扫描电机的性能直接关系到系统的精度，对扫描电机的摆动角度范围、线性 段的速度均匀性、时间利用率、零位重复性、转轴与镜面的不平行度等特性参数高精度测试 是必要的。 本论文采用激光自准直技术，以磁栅传感器与扇形部件构成标定系统，以激光器与光电 位置传感器构成检测系统，设计了扫描电机动态测试系统，实现了将静态自校准和动态测试 相结合的全自动测试过程。首先分析了扫描电机的运动特性和电气特性，推导了扫描电机特 性参数的测试原理，搭建了光学平台，设计了校准系统，介绍了测试系统的控制硬件结构， 包括组合台的控制、信号采集系统的配置，光电位置传感器和磁栅传感器的使用方法。其次， 使用C++Builder开发平台设计了高均匀扫描电机测试调试软件，包括对光电位置传感器的零 位标定和线性化标定，控制4自由度电动控制台进行电机镜面的位置找准，采集光电位置传 感器和磁栅传感器的位移数据，利用小波变换方法对信号进行滤波处理并计算扫描电机的参 数指标。最后，设计了对测试系统的计量方法，利用圆光栅、自准直仪等仪器完成了测试指 标的计量，通过高精度设备的计量实验，系统的指标满足了设计要求。 关键词：扫描电机，激光自准直，光电位置传感器，磁栅传感器，电动控制台 I PAGE PAGE IV III III ABSTRACT The swing motor is the key component of laser manufacture, infrared scanning imaging, which requires high speed uniformity, high optical stability.The performance of a swing motor is directly linked to the accuracy of the system. It is necessary to have high accuracy of the characteristic parameters. For instance, the swing angle of the swing motor, the velocity uniformity, time availability, dynamic zero repeatability in the linear part and the nonparallelism of the spindle and mirror surface. This paper is focused on using the technology of laser collimation. The calibration system consists of the magnetic grating transducer and the fan-shaped parts. The det