第2章MEMS基础理论修改1.docVIP

第二章 MEMS基础理论 在微观世界，许多物理现象同宏观世界相驳，这可由尺寸效应来解释。所谓尺寸效应是指当物体的尺寸L改变时，种种的物理量比例于Ln而变化的现象。比如，在空中举着的物体手离开时会下落这一宏观世界的常识对蒲公英的种子或者眼睛看不到的灰尘却不适应，由于它们质量非常轻，作用在其表面的空气的摩擦力使其在空中浮游。另以潜水艇为例，它通常靠螺旋桨旋转向后搅动水，依靠反作用的惯性力动作，此时作用在潜水艇表面的水的黏性摩擦表现为阻力。在宏观世界，惯性力对摩擦力的比(即雷诺数)非常大，螺旋桨可用作推进器。但是，若将潜水艇微缩到针头大小时，螺旋桨即使转动潜水艇也难以前行，这是由于在微观世界雷诺数接近或小于1，摩擦力处于支配地位，在水中螺旋桨犹如在高粱饴中转动，当然不能前行。事实上，观察有些细菌可知，它们带有螺旋状长长的鞭毛，尤如软木塞起盖器一样边旋转边前行而非简单的转动。 在微观世界，热交换和化学反应等尤为迅速。生活中以煮萝卜为例，整根萝卜放入锅里很难煮熟，也不入味，若将萝卜切成碎块则易熟易入味，能很快端上餐桌，这是由于热交换或化学反应速率正比于物体的表面积。通常人们认为铁不会燃烧，但是若将铁研磨成超级粉末，其表面积大大增加在空气中会燃烧起来。同理为了提高火药(它的英文是powder,原意指粉末)爆炸的威力，一般尽可能使原料搅拌均匀并研磨成细粉状。另外，在微观世界里液体表面的张力也不