电子衍射及显微分析.pdf

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10.1.1 什么是TEM? 10 电子衍射及显微分析 透射电子显微镜(TEM)是以波长很短的电子束作照明 源,用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放 Transmission Electron Microscopy 大倍数的电子光学仪器。 TEM is a unique tool in characterization of materials crystal structure and microstructure simultaneously by diffraction and imaging techniques. TEM同时具备物相分析和组织分析两大功能: 物相分析是利用电子和晶体物质作用可以发生衍射的特 点,获得物相的衍射花样,而组织分析则是利用电子波 遵循阿贝成像原理,可以通过干涉成像的特点,获得各 种衬度图像。 应用举例1-半导体器件结构 现代透射 电子显微 镜(TEM) 150 kx 1.2 kx 150 kx 1.2 kx 8 kx 600 kx 8 kx 600 kx 应用举例3- Si纳米晶的原位观察 应用举例2-金属组织观察 1 µm .8 µm

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