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10.1.1 什么是TEM?
10 电子衍射及显微分析 透射电子显微镜(TEM)是以波长很短的电子束作照明
源,用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放
Transmission Electron Microscopy 大倍数的电子光学仪器。
TEM is a unique tool in characterization of
materials crystal structure and microstructure
simultaneously by diffraction and imaging
techniques. TEM同时具备物相分析和组织分析两大功能:
物相分析是利用电子和晶体物质作用可以发生衍射的特
点,获得物相的衍射花样,而组织分析则是利用电子波
遵循阿贝成像原理,可以通过干涉成像的特点,获得各
种衬度图像。
应用举例1-半导体器件结构
现代透射
电子显微
镜(TEM)
150 kx
1.2 kx 150 kx
1.2 kx
8 kx 600 kx
8 kx 600 kx
应用举例3- Si纳米晶的原位观察
应用举例2-金属组织观察
1 µm
.8 µm
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