电容式传感器-精品课程——传感器与检测技术.doc

第4章 电容式传感器 电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种传感器。它具有结构简单，分辨率高，抗过载能力大，动态特性好的优点，且能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。电容式传感器可用于测量压力、位移、振动、液位。 4.1 电容式传感器工作原理 图4.1 平行板电容器 平行板电容器是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的，如图4.1所示，当忽略边缘效应影响时，其电容量与绝缘介质的介电常数?、极板的有效面积S以及两极板间的距离d有关，即 （4.1） 若被测量的变化使电容的d、S、?三个参量中的一个参数改变，则电容量就将产生变化。如果变化的参数与被测量之间存在一定的函数关系，那么被测量的变化就可以直接由电容量的变化反映出来。所以电容式传感器可以分成3种类型：改变极板面积的变面积式、改变极板距离的变间隙式和改变介电常数的变介电常数式。 4.1.1 变面积式电容传感器 图4.2 变面积型电容传感器原理图 变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为动极板。根据动极板相对定极板的移动情况，变面积式电容传感器又分为直线位移式和角位移式两种。 1．直线位移式 其原理结构如图4.2所示，被测量通过使动极板移动，引起两极板有效覆盖面积S改变，从而使电容量发生变化。设动极板相对定极板沿极板长度a方向平移?x时，电容为 （4.2） 式中，，为电容初始值；电容因位移而产生的变化量为。 电容的相对变化量为 （4.3） 很明显，这种传感器的输出特性呈线性，因而其量程不受范围的限制，适合于测量较大的直线位移。它的灵敏度为 （4.4） 图4.3 中间极板移动变面积式电容传感器原理图 由式（4.4）可知，变面积式传感器的灵敏度与极板间距成反比，适当减小极板间距，可提高灵敏度。同时，灵敏度还与极板宽度成正比。 为提高测量精度，也常用如图4.3所示的结构形式，以减少动极板与定极板之间的相对极距可能变化而引起的测量误差。 2．角位移式 其工作原理如图4.4所示。当被测的变化量使动极板有一角位移??时，两极板间互相覆盖的面积被改变，从而改变两极板间的电容量C。 当????0时，初始电容量为：。 当??≠ 0时，电容量就变为：。 由上式可见，电容量C与角位移??呈线性关系。 在实际应用中，也采用差动结构，以提高灵敏度。角位移测量用的差动式结构如图4.5所示。 A、B、C均为尺寸相同的半圆形极板。A、B固定，作为定极板，且角度相差180°，C为动极板，置于A、B极板中间，且能随着外部输入的角位移转动。当外部输入角度改变时，可改变极板间的覆盖有效面积，从而使传感器电容随之改变。C的初始位置必须保证其与A、B的初始电容值相同。 图4.6 基本的变间隙式电容传感器 图4.4 角位移式电容传感器原理图 图4.5 差动角位移式电容传感器原理图 4.1.2 变间隙式 基本的变间隙式电容传感器有一个定极板和一个动极板，如图4.6所示，当动极板随被测量变化而移动时，两极板的间距d就发生了变化，从而也就改变了两极板间的电容量C。 设动极板在初始位置时与定极板的间距为d0，此时的初始电容量为，当可动极板向上移动?d时，电容的增加量为 （4.5） 上式说明，?C与?d不是线性关系。但当（即量程远小于极板间初始距离）时，可以认为?C与?d是线性的。即 （4.6） 则有 （4.7） 传感器被近似看作是线性时，其灵敏度为 （4.8） 图4.7 差动结构的变间隙电容传感器 当动极板下移时的电容量和可由学生自行推导。 由上式可见，增大S和减小d0均可提高传感器的灵敏度，但要受到传感器体积和击穿电压的限制。此外，对于同样大小的?d，d0越小则?d/d0越大，由此造成的非线性误差也越大。因此，这种类型的传感器一般用于测量微小的变化量。 在实际应用中，为了改善非线性，提高灵敏度及减少电源电压、环境温度等外界因素的影响，电容传感器也常做成差动形式，如图4.7所示。当可动极板向上移动?d时，上电容C1电容量增加，下电容C2电容量减少，而其电容值分别为 （4.9） （4.10） 当?时，，