热导式气体传感器XEN-TCG38801介绍-OFweek.pdf

热导式气体传感器 XEN-TCG3880 气体浓度检测和真空度检测 XEN-TCG3880 被安装在LCC-20(左边)和TO-5(右边)上 1. 介绍 1.1 简介 XEN-TCG3880 是用硅技术制造的热导式传感器。传感器芯片包含了2.5*3.33mm 的硅晶片， 0.3mm 的厚度，有一层氮化硅的薄膜。在中心是加热器，测量他的温度的传感器元件。芯 片测试空气和膜的中心的热导率，这取决于几个参数，例如压力、气体类型和膜上的材料。 这取决于允许TCG 来测试的物理参数，例如绝压、混合气体和材料特性。 XEN-TCG3880 的典型封住是带10 引脚的TO-5，其他的封装可根据需求来。 1.2 应用 气体类型测量： * 热导率的测量 * 空气中的He,CO2 等气体浓度的测量 * 混合气体成分的测量 真空度测量： * 10mPa~10KPa 之间的真空度测量 * 密封气体的泄漏 2 技术数据 表2.1：规格（22°C 和1V 供电） 参数 典型* 单位 符号 备注 体积 尺寸