化学传感器介绍.pptVIP

2 离子敏传感器的结构与工作原理 离子敏传感器是由MOS场效应管发展过来，它的栅极与普通MOS管不太一样，在二氧化硅栅极内掺有对某些离子敏感的重金属。离子敏传感器由离子敏感膜和转换器两部分构成，敏感膜能够识别离子的种类和浓度，转换器将敏感膜感知的信息转换为电信号。 离子敏场效应管参数： 1、线性度。 2、动态响应。 3、迟滞。 4、选择系数。 4 ISFET的应用 ISFET可以用来测量离子敏电极所不能测量的生物体中的微小区域和微量离子。因此，它在生物医学领域中具有很强的生命力。此外，在环境保护、化工自控、矿山、地质、土壤、水文以及家庭生活等各个方面都有其作用。 (1)对生物体液中无机离子的检测。 (2)在环境保护中的应用。 (3)在其它方面的应用。 13.2 半导体气敏传感器 1 半导体气敏传感器的分类 按气—电转换分类，有金属氧化物半导体式、接触燃烧式、热传导式、固体电解式、恒电位电解式、伽伐尼电池式、光电干涉式以及红外线吸收式等。 按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。 半导体气敏传感器按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是在其内部，可分为表面控制型和体控制型两大类 半导体气敏传感器按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是在其内部，可分为表面控制型和体控制型两大类 2 半导体气敏传感器的工作原理 敏感元件为MOS结构，分为N型、P型和混合型三种。 敏感部分是MOS微晶烧结体，当它的表面吸附被检测气体时，接触介面的导电电子比例就会发生变化，使气敏元件的电阻值随被测气体的浓度改变而改变。 当氧化型气体吸附到N型半导体上，或还原型气体吸附到P型半导体上时，将使载流子减少，而使电阻值增大。相反，当还原型气体吸附到N型半导体上，或氧化型气体吸附P型半导体上时，将使载流子增多，使电阻值下降。 SnO2 气敏元件的主要特性参数如下： ①固有有电阻R0和工作电阻RS ②灵敏度S ③响应时间tγes ④恢复时间tγec ⑤回路电压UC ⑥洁净空气中的电压U0 ⑦标定气体中的电压UCS ⑧电压比KV ⑨加热电阻RH和加热功率PH (2)Fe2 O3 系气敏传感器 4 接触燃烧式气敏传感器 在铂丝线圈上涂有氧化铝制成球状物烧结，再在外表面敷设铂（Pt）、钯（Pd）和铑（Rh）等稀有金属催化剂。 测量电路为电桥， 气敏传感器主要用在可燃性气体测量及泄漏报警等装置上。 5 电化学式气敏传感器 8 电阻式气敏传感器 电阻式气敏传感器是根据具有还原性的气体的浓度增加时,其电阻值变小的原理而工作的。 9 氢敏MOS 场效应管 氢敏MOS场效应管的栅极用钯。 10 气敏传感器的应用 1 湿度与湿敏传感器的分类 (1)湿度 湿度:大气中的水蒸汽的含量，即空气的干湿程度。 绝对湿度:以每1m3大气所含水气的克数来表示。 相对湿度:绝对湿度与饱和湿度之比。 饱和湿度:指被测媒质的单位体积可能储水蒸汽的最大量。 露点:保持压力下降温，使混合气体中的水蒸气达到饱和而开始结露时的温度，称为露点温度（单位为0C）。 (3)高分子湿敏传感器 (4)仓储湿度控制电路 13.4 电化学传感器 1 结构原理 传感器的结构如图。它由电解池、垫圈、吹管、参比电极及波纹管吹气装置组成的。 1-参比电极 2-吹管 3-电解液 4-电解池（阴极） 5-垫圈 6-镀层（阳极） 7-波纹管吹气装置 (2)电解质湿敏传感器 湿敏电阻元件为氯化锂湿敏电阻。 ①电容式湿敏传感器 高分子醋酸纤维有机电容式湿敏传感器基本上是一个电容器，利用其电容值随湿度变化的原理进行湿度测量。 ②树脂湿度传感器 加在树脂湿度传感器上的电压要低于0.8V，防止水电解。 ③压电晶体湿敏传感器 涂敷在压电晶体上的覆盖薄膜有四种：聚合物硫酸；SiOX；按一定比例配制的环氧树脂；醋酸纤维。 应用这种传感器应注意： ①压电晶体湿度传感器的输出量是数字量； ②压电晶体尺寸不宜选得太大； ③。要选择合适的薄膜。 ④电阻式湿敏传感器 它使用高分子固体电解质材料作感湿膜，利用导电性高分子对水蒸汽的物理吸附作用引起电导率变化的原理工作的。 (4)金属氧化物膜湿敏传感器 利用Fe2O3 、Fe3O4、Al2O3 等研制金属氧化物膜湿敏传感器。 电阻式湿敏传感器和金属氧化物膜湿敏传感器结构一样 (5)金属氧化物陶瓷湿敏传感器 ①MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏传感器 多孔陶瓷材料表面吸收水分三个阶段 1MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏传感器结构特性 ②NiO陶瓷湿敏传感器 3 非水分子亲和力型湿敏传感器(1)热敏电阻式湿敏传感器 ①热敏电阻式湿敏感器的输出电压与绝对湿度成正比。 ②