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第 卷第 期 光 子 学 报
47 2 Vol.47No.2
年 月
2018 2 Februar2018
ACTAPHOTONICASINICA y
: /
doi10.3788 zx0212004
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装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响
1 1 2 1 1 1
, , , , ,
赵思伟 田爱玲 王大森 刘丙才 朱学亮 刘卫国
( , , )
1西安工业大学 光电工程学院 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 西安 710021
( , )
2中国兵器科学院宁波分院 浙江 宁波 310022
: , ,
摘 要 针对立式大口径平面干涉仪 采用结合 多项式的三平面互检面形检测方法 研究参考
Zernike
平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响 运用 有限元分析方法研究了不同
. ANSYS
, 、 ,
参数下的装夹和 自重变形情况 得到了最优的装夹参数为环带宽度 15mm 平面厚度 90mm 此时的变
形量峰谷值为 ( )通过参考平面装夹自重变形对测量结果影响的模拟检测试验和对
0.023λλ=632.8nm .
, ,
比分析 发现参考平面装夹自重变形不仅影响其自身的面形 而且对未变形大口径平面的绝对面形检测
, ,
结果也有较大影响 面形残差峰谷值基本都在 尤其在高精度干涉测量中该影响不可忽略 研究
0.011λ .
结果可为高精度测量的变形补偿提供参考.
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关键词 光学检测 绝对检测 有限元分析法 装夹自重变形 三平面互检
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TH741 A 1004-4213201802-0212004-7
InfluenceoftheClamin andGravitDeformationonAbsoluteTestofLarePlane
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