铝制高真空L型阀.pdfVIP

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2019-06-08 发布于天津
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铝制高真空L型阀.pdf

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INFORMATION 鋁製高真空L型閥 ■伸縮囊耐久性提昇（法蘭尺寸100 、 160） ■壽命：200萬次※ ※依本公司試驗的耐久次數。詳細請確認操作說明書。 ■裝置可省空間化排氣方向無制限（閥體側←→伸縮囊側可兩方向）安裝方向的自由度提昇 XL□-100160-X152 腔體 XLA-□-X152 真空幫浦真空幫浦 ■輕量・輕巧小的本體,大的傳導。對省空間貢獻 XL□-100160-X152 對氟素的耐蝕性有優異的表現。（本體）排氣方向有限制（閥體側→伸縮囊側只有單方向） B XL□-100160 腔體 A A B 質量傳導真空幫浦型式（mm）（mm）（kg）（L/s）真空幫浦 XLA-100-X152 108 300 10.6 300 XL□-100160 XLA-160-X152 138 315 18.5 800 組合變化 3 使用壓力洩漏量 Pa ・m /s 法蘭尺寸選配型式閥形式 Pa（abs）內部註）外部註） 100 160 開關加熱器指示器高溫規格單動 XLA-100 ・160-X152 （N.C.） 10-6〜大氣壓 10-10 10-11 XLC-100・160-1-X152 複動註）標準密封材（FKM）時。 XLA/C-100 ・160（-1 ）-X152 ’18-692 鋁製高真空L型閥常時閉／伸縮囊密封 XLA-100 ・160-X 152