透明导电ZnO薄膜的电化学制备及性能研究.pdfVIP

第34卷摇 第2期 发摇 光摇 学摇 报 Vol郾34 No郾2 2013年2月 CHINESEJOURNAL OF LUMINESCENCE Feb. ,2013 文章编号:1000鄄7032(2013)02鄄0218鄄07 透明导电ZnO薄膜的电化学制备及性能研究 1 1,2 * 1 1 1 1 孙芳芳 ,贺蕴秋 ,李一鸣 ,李摇 乐 ,储晓菲 ,黄河洲 (1. 同济大学 材料科学与工程学院,上海摇 200092; 2. 同济大学 先进土木工程材料教育部重点实验室,上海摇 200092) 摘要:以修饰的ITO玻璃为衬底,以不同浓度Zn(NO ) ·6H O作为电解质溶液,采用阴极恒流沉积法制备 3 2 2 了不同纳米结构的ZnO薄膜。 用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE鄄SEM)、四探针仪(RTS鄄8)、紫外鄄可 见(UV鄄Vis)光谱仪、循环伏安等分别表征薄膜的晶相、形貌和厚度、方块电阻、紫外鄄可见光透过率和氧化还原 电位。 结果表明:低浓度溶液沉积得到的c轴取向1DZnO纳米柱和高浓度溶液沉积得到的致密2D六方ZnO 纳米片在可见光范围(400~900 nm)的透过率均可高达85%以上,方块电阻约为14.5 赘/ 阴。 两种结构的氧 化还原电位有显著区别,纳米柱的为-0.54 V(vs.SCE),而纳米片的为-0.72 V(vs.SCE),说明纳米片状的 ZnO薄膜具有更为良好的化学稳定性。 关摇 键摇 词:ZnO薄膜;恒电流;修饰;透明电极 中图分类号:O642 摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 DOI:10.3788/ fgx0218 Transparent Conductive Properties of ZnO Thin Films Prepared by Electrochemical Deposition 1 1,2* 1 1 1 1 SUN Fang鄄fang ,HE Yun鄄qiu ,LI Yi鄄ming ,LI Le ,CHU Xiao鄄fei ,HUANG He鄄zhou (1. School of Materials Science and Engineering,Tongji University,Shanghai200092,China; 2. Key Laboratory of Advanced Civil Engineering Materials,Ministry of Education,Tongji University,Shanghai200092,China) *Corresponding Author,E鄄mail:heyuqiu@T Abstract:By using the constant鄄current electrochemical method,nanostructure ZnO was deposited on the modified ITOsubstrate. therelationshipbetweenZn(NO ) ·6H Oconcentrationandthemorpholo鄄