多晶硅工艺生产技术概述.doc

多晶硅工艺生产技术 PAGE PAGE II 多晶硅工艺生产技术 姓名： 葸国隆 日期：2012年12月11日 目 录 TOC \o 1-3 \u 目 录 I 摘 要 II 第一章 多晶硅的认识和产品的用途 1 一、什么是多晶硅 1 二、什么是半导体 1 三、纯度表示法 1 四、多晶硅产品的用途 1 第二章 多晶硅的生产方法 2 一、锌还原法（杜邦法） 2 二、四氯化硅氢还原法（贝尔法） 2 三、三氯氢硅热分解法（倍西内法） 3 四、三氯氢硅氢还原法（西门子法） 3 五、硅烷热分解法 3 六、改良西门子法 3 第三章 改良西门子法工艺 3 一、发展历程 3 二、改良西门子法归纳起来有三大特点 4 三、工艺生产化学反应方程式 4 第四章 多晶硅生产的工艺过程 4 一、合成部分 4 1、液氯汽化 4 2、HCL合成 6 3、三氯氢硅合成 8 二、提纯部分 11 三、氢化还原部分 15 1、还原工序 15 2、四氯化硅氢化 18 四、回收部分 21 五、公用辅助部分 27 第五章 多晶硅工艺的主要控制 27 一、还原炉的自动和联锁控制 27 二、尾气回收吸附塔的顺序控制 32 第六章 结束语 48 摘 要 多晶硅是硅产业链中一个极为重要的中间产品，主要用作半导体原料、最终用途主要是