扩大光学系统焦深范围的光学成象新技术研究-光子学报.pdf

30 5 光　子　学　报V o l. 30 No . 5 2001 5 A CT A PHOT ONICA SINI CA M ay 2001 惠　彬　刘新平　汶德胜　刘良云　苗兴华 ( , 7 10068) 如何增大非相干光学系统的焦深已成为 项有意义的研究主题 . 对于普通光学系统, 其焦深与光学系统的相对孔径平方成反比. 为了增大焦深, 通常的做法是缩小相对孔径, 但这 种做法有其缺点: 会降低光学系统的光通量及调制传递函数( MT F) 和分辨率. 本文提出了 种新方法, 通过在光学系统光路中加入 特殊设计的非球面掩模板, 并用图象处理技术对相位 掩模板编码后的图象进行解码得到清晰图象 . 保证了光学系统在维持原有相对孔径的同时扩 大其焦深范围, 使光学系统在离焦范围内有好的成象质量. 离焦; 相位掩膜板; 光学传递函数; 调制传递函数; 模糊函数; 稳相法 0 1 , ( , ) , , ( OT F) M T F ( MT F) , , , . , . , : . , ( P SF) , OT F . , , , . ( ) , . , ( ( MT F) ( ) , ) , , . , . , , , , . , M T F 1 : , . ( M T F) , M T F . 1 , F g. 1Schemat c d ag ram o f the system . , , 2 . 收稿日期: 2000 -10 -17 . 5 . 595 , ( ) = P x . 2- 1/ 2ex p ( j( x ) ) x 1x 0 1 . ( x ) = x { 0, 1} 0 ( 4) , ( 4) ( 2) . 1 1- u/ 2 j ( x ) j2yx A ( u , y ) = 2 - ( 1- u/ 2) e e dx u2 ( 5) .