固体中的原子扩散相关课程.pptVIP

故 erf(z)=0.7143=0.7112+x(0.000618) 所以：x=5 即 z=0.75+5(0.001)=0.755 例7.5 1100oC时镓在硅单晶片的表面上进行扩散。如硅晶体表面处镓的浓度为1024 原子/cm3 ，求3小时后距离表面多深处镓的浓度为原子1022 原子/cm3 ？ (已知D1100=1.28?10-17 m2/s) 解：已知: Cs= 1024 原子/cm3; C0= 1022 原子/cm3 ; t=3 (hours)=1.08 ?104 (s) D=7.0? 10-17 m2/s 所以，z应该介于1.8和1.9之间。 注意到：1.9-1.8=0.1 erf(1.9)-erf(1.8)=0.0037 故 erf(z)=0.99=0.9891+x(0.00037) 所以：x=2 即 z=1.8+2(0.01)=1.83 §7.2 扩散的微观机制 一、扩散的机制 主要有间隙机制、空位机制、填隙机制、 换位机制等。参与扩散的可以是原子。也 可是离子。 换位机制 二、原子热运动与扩散 设间隙原子由位置1运