光电探测原理－骆佳良.ppt

Charge-coupled Device 1. CCD的结构与工作原理 1) CCD单元结构 由多个像素组成线阵,金属栅极是分立的，氧化物与半导体是连续的 P MOS结构 单元－像素 CCD的结构与工作原理 1) CCD单元结构 由多个像素组成线阵,金属栅极是分立的，氧化物与半导体是连续的 P MOS结构 单元－像素 势 阱 1. CCD单元结构 势 阱 施加正电压 空穴耗尽区 电子的“陷阱” 反向电压与光电二极管原理类似 基本名词： 势 阱 栅极正向电压增加时，势阱变深。 －－改变UG，调节势阱深度 1. CCD的结构与工作原理 光注入： 电子 －－信号电荷（包） 产生电子－空穴对 空穴 －－栅极电压排斥 1. CCD的结构与工作原理 基本思想： －－调节势阱深度 －－利用势阱耦合 势阱耦合 1. CCD的结构与工作原理 电流输出方式 ： 衬底P和N+区构成输出二极管（反偏压） 复位脉冲RS 10－2V 5V 1. CCD的结构与工作原理 循线小车 演示视频 光谱分析仪 光纤 线阵CCD 棱镜分光 三角测量 线阵列 激光 二维平面定位 线阵CCD 发光阵列 尺寸测量 二维平面定位 线阵CCD 发光点 常用的定位是编码器，绝对式编码器与增量式编码器。 传统湿度传感器大都建立在吸湿材料的物理化学性质