用于平板显示器制造业的快速激光刻蚀跟湿法光刻技术跟比较资料精.pdfVIP

激光技术与应用 LaserTechnologyApplications 用于平板显示器制造业的快速激光刻蚀 与湿法光刻技术之比较 ●崔锦江 实验证明,ITO薄膜的快速激光刻蚀 R（LP）是一种可行而且可靠的方法，可以替代平板显示制造业中现行 的湿法光刻技术。但是,任何新技术想要取代工业生产中已经成熟的传统技术,都必须与传统技术放在一起进行全 面的比较和对照，新工艺必须在技术和经济2方面都体现出明显的优越性才能为用户所接受。 唯一可行的技术，没有其它任何技术可以替代它用 1 引 言 于大规模生产。然而，在FPDs制造业中即使是精 一直以来，湿法光刻技术都是在玻璃以及其它