全板电镀流程操作手册-柏宇说明书.docVIP

PAGE —————————————————————————— DO THE BEST PURE ELECTRON MATERIAL CO. R00M701,Langqing New Street No.9, Nanhuadong Road,Haizhu District,Guangzhou TEL:(8620 FAX:(8620 http:// 广 州 柏 宇 电 子 产 品 有 限 公司 全板电镀流程 操作手册 2008年3月 目录 1. 柏宇专利化学品名称与储存要求 3 2．全板电镀线配槽步骤4 2.1 新配槽的清洁处理方法4 2.2 配槽简表4 2.3 配槽步骤5 3. 全板电镀线设备要求5 4. 药液生产控制范围6 5. 药液补充量及槽液寿命6 6. 生产线保养事项6 6.1 定期保养6 6.2 碳处理和阳极铜球处理8 7. 药品分析方法9 8. 工艺问题处理简表11 9. 基本化学药品名称和规16 10.产品说明书16 1．基本化学药品名称及规格 1．1 所需基本化学药品规格 2.2.1 硫酸(化学纯) H2SO4浓度 98%重量比 密度g/cm3 1.835 - 1.945 氯 max. 0.5 ppm 铁 max. 5.0 ppm 2.2.2 盐酸(化学纯) 含有HCl 37.5% 密度g/cm3 1.16 - 1.20 重金属 max. 1 ppm 2.2.3 硫酸铜(化学纯) CuSO4.5H2O成份 min. 98%重量比 氯 max. 0.02%重量比 1.2 含磷铜阳极规格 含磷铜阳极 Cu 99.9%，不含Cu2O P 0.04 - 0.06% Pb max. 0.001% Bi max. 0.002% AS max. 0.003% Sb max. 0.003% Sn max. 0.003% Zn max. 0.001% Fe max. 0.003% Ni max. 0.008% Se max. 0.001% S max. 0.01% 2. 全板电镀线配槽步骤 2.1 新药槽的清洁处理方法 2.1.1 1).用5% NaOH溶液浸缸，同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时后排放碱。 2).再用清水冲洗用2%(v/v)硫酸溶液浸缸及同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时。 3).排放硫酸液，然后用清水冲洗 2.1.2 1).用2% (w/w) NaOH溶液浸泡4小时，然后用清水冲洗。 2).再用2 % (v/v)硫酸溶液泡4小时，然后用清水冲洗。 2.1.3 1).用2%硫酸(v/v)和5%(v/v)双氧水(35%)混合溶液用作微蚀处理铜球表面。 2).再用清水冲洗，并放入1%(v/v)硫酸溶液中储存备用。 2.1.4 1).用2 - 5%(v/v) NaOH溶液浸泡4 - 8小时，然后用清水冲洗。 2).再用2%(v/v)硫酸溶液浸泡4小时。 3).把钛篮放入注满10% 硫酸的镀铜槽中的阳极位置。 4).在阴极挂上不锈钢板。 5).用6 - 8V电压，稳压电解处理钛篮约一小时。 6).用去离子水彻底冲洗。 2.1.5 1).用4%(v/v) 硫酸溶液浸泡4 - 8小时。 2).然后用清水冲洗，并放于1%(v/v)硫酸溶液中储存使用。 2.2 配槽简表 药品 配槽浓度 100 L配槽用量 纵横比 7:1 纵横比 3:1-7:1 纵横比 3:1 纵横比 7:1 纵横比 3:1-7:1 纵横比 3:1 硫酸铜 硫酸(98%) 氯离子 酸铜添加剂1301M 45 g 165 ml/L 75 ppm 4 ml/L 60 g 145 ml/L 75 ppm 4 ml/L 75 g 125 ml/L 75 ppm 4 ml/L 4 1 分析添加 400 ml 6.0 14. 分析添加 400 ml 7.5 1 分析添加 400 ml 2.3 配槽步骤 工序 配槽步骤 酸性镀铜 注入去离子水进入镀槽内至1/2水位。 开动空气搅拌,加入适量的硫酸铜， 小心慢慢地加入适量的化学纯硫酸，切勿使用工业级硫酸。在加入步骤中会产生大量热力，可帮助硫酸铜溶解。 如有需要，可以作碳处理(详情可参考9.2部份)。 加入去离子水至水位及搅拌均匀，先作定量分析，包括铜离子、硫酸和氯离子浓度，调校氯离子至约 75 ppm。 待溶液冷却至约25?C左右可准备使用。 用拖缸板先以10 ASF拖缸1小时，然后15ASF拖缸2小时，最后用20ASF 拖缸最少约2安培小时/升，使阳