（讲稿）薄膜太阳能电池激光解决方案.pptVIP

薄膜太阳能电池激光解决方案 刘良清 光学工程师 武汉凌云光电 2010年10月 目录 太阳能电池市场状况 太阳能电池的发展趋势 薄膜太阳能电池的生产工艺 激光刻膜工艺 光伏建筑一体化薄膜电池激光打点工艺 激光清边工艺 激光与设备市场策略 引言 太阳能电池市场状况 太阳能电池市场状况 太阳能电池市场状况 太阳能电池市场状况 太阳能电池市场状况 太阳能电池的分类 各种电池特点的对比 各种太阳能电池的转换效率比较 从长远角度考量，薄膜太阳能光伏产业其实依然是一个具有前瞻性与可持续发展的行业。 薄膜太阳能技术，最主要的竞争优势是在成本。薄膜材料需要的反应温度低，可以在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上淀积，易于大面积生产。目前，在平板显示领域，基于大面积有源矩阵驱动的TFT-LCD工艺已十分成熟，可借鉴其大面积非晶硅均匀性成膜的工艺和设备，来生产薄膜硅太阳能电池。美国、欧洲和日本的半导体设备供应商，都在积极努力角逐这一市场。从5代线(基板规格1.1米×1.3米)起步，到8.5代(基板规格2.2米×2.6米)生产线。目前，中国已有京东方、上广电、龙腾光电三家厂商的三条5代TFT-LCD面板生产线实现量产，因此，我国在相关技术与设备上也已作了一定准备。当然，薄膜太阳能的特性是基于大量量产后的成本降低，成本竞争优势是长期的。 其次，与晶体硅太阳电池比较，非晶硅薄膜太阳能电池的温度转换系数低，即转换效率较不受气温影响，且受照度影响也较小，即在低照度下仍可维持较佳的转换效率。有数据统计，在装设相同瓦数的发电机组情况下，非晶硅薄膜的年度总发电量比传统结晶硅高出约10%。 　　薄膜太阳能电池还有一个重要优点是适合作与建筑结合的光伏发电组件：双层玻璃封装刚性的薄膜太阳能电池组件，可以根据需要，制作成不同的透光率，可以部分代替玻璃幕墙，而不锈钢和聚合物衬底的柔性薄膜太阳能电池适用于建筑屋顶等需要造型的部分。既具有漂亮的外观，又能发电，其透明导电薄膜还能很好地阻挡外部红外射线的进入和防止内部热能散失。城市土地的稀缺性，决定了薄膜太阳能具有更广阔的发展前景。 　　根据PVNET的估算，2010年薄膜太阳能电池将占全体太阳能电池产量的8%，而至2015年将上升至13%，到2020年时，薄膜太阳能电池的产量将占当年度太阳能电池总产量的30%。 从转换效率来看，晶体硅电池转换效率较高，一般为14％～19%，其中，单晶硅效率最高，而薄膜电池的转换效率为6％～12%左右。 目前，虽然薄膜电池具有转换效率低的劣势，却也同时具备成本低廉的优势。多晶硅是整个晶体硅电池产业链中技术壁垒最为复杂的一环，但长期的高净利率水平必然不会长期维持，而现在多晶硅价格出现暴跌，市场一度十分悲观。而薄膜电池将具有广阔的发展前景。薄膜电池基本上分为：非/微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池和CdTe薄膜电池三种。其中，GIGS的转换效率最高，约为10％～12%，CdTe的转换效率次之，约为8.5%～10.5%，非/微晶电池最低，一般为6％～8%；但从原材料的可获取性来看，非/微晶电池的原材料为硅烷，最为普遍，而另外两种电池的原材料中均包含稀有元素化合物，可获取性较低。 激光刻膜设备需求（参考） 平台运行速度：500mm/s-2000mm/s; 平台运行方式：龙门式双轴分离运动，X轴行程500mm,Y轴1800mm; 平台平整度：0.3mm 自动对位，CCD监控 P1激光刻线工序：TCO透明导电层通常为SnO2等氧化物。P1流程要求激光的波长能够透过玻璃但被TCO强烈吸收。所以要排除能够被玻璃吸收的中红外和深紫外激光。当然也要排除不能被TCO吸收的可见光激光波长。近红外波长（1.06微米）的固体激光是该流程的最佳选择；只需用几瓦功率的激光，穿透而不伤害玻璃覆板，却可以被TCO膜层强烈地吸收。 P1激光刻线工艺研究-激光模式 P1激光刻线工艺研究-激光功率 P1激光刻线工艺研究-光束质量 P1激光刻线工艺研究-脉冲宽度 P2激光刻线工艺研究 P2激光刻线工艺研究 P2激光刻线工艺研究 P2激光刻线工艺研究 P2激光刻线工艺研究 P3激光刻线工艺研究 结束——谢谢大家！ 薄膜太阳能电池的制作工艺 半导体泵浦固体激光（1064nm）P1刻线样品（TCO） 基膜高斯光束刻线效果为：中心清除较干净，边缘逐渐过渡 对TCO的清除，要求经过激光刻线之后，线间电阻大于几兆欧甚至几十兆欧。TCO无残留，刻线边缘清晰，且边缘无烧痕。刻线宽度一般在50um-200um之间。 Schematic shows the basic geometry and functioning of a thin-film solar cell. P1刻线工艺对激光功率的要求依据刻线的宽度与刻线速度而定。通常，对于