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;2.4 光栅 ;1.长光栅检测装置的结构 ;2.工作原理(以透射投影为例) 摩尔条文宽度B的理论公式
莫尔条纹:; 莫尔条纹的特征:
(1)莫尔条纹的变化规律:两片两光栅相对移过一个栅距,莫尔条纹移过一个条纹间距。由于光的衍射与干涉作用,莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数,变化周期数与两光栅相对移过的栅距数同步。
(2)放大作用 莫尔条纹宽度 W 和光栅栅距 d、栅线夹角θ之间关系:
由图可知 W=d sinθ
又θ很小可认为 sinθ≈ θ
故 W=d/θ
例如 d = 0.01, θ= 0.01rad, 得W =1mm, 放大100
(3)均化栅距误差作用 ; 莫尔条纹的细分技术:光学细分、机械细分和电子细分 ;2.5 磁栅 ;1.磁栅式位移传感器的结构 ;2.原理:
在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组,一个为励磁绕组,另一个为拾磁绕组,将高频励磁电流通入励磁绕组时,当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电压为:;3.测量方式
(1)鉴幅测量方式
如前所述,磁头有两组信???输出,将高频载波滤掉后则得到相位差为π/2的两组信号
;(2).鉴相测量方式
将一组磁头的励磁信号移相90°,则得到输出电压为;2.6 光电脉冲编码器 2.6.1 脉冲编码器的分类与结构 ; ; ; ;
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