超声波的特性.ppt

11. 超声加工 11. 超声加工（Ultrasonic Machining , USM) 超声加工的基本原理和特点 超声加工设备及其组成部分 超声加工速度、精度、表面质量及其影响因素 超声波的应用技术 超声加工新技术 11.1 超声加工的基本原理和特点 11.1.1 超声波及其特性 11.1.2 超声加工的基本原理 11.1.3 超声加工的特点 11.1.1 超声波及其特性 超声波的频率范围 超声波的特性（1） 超声波为纵波，可在各种介质中传播 传递速度 c = λ f ，λ-波长， f-频率 不同介质中传播速度不同 c空气=331m/s， c水=1430m/s c铁=5850m/s 超声波的特性（2） 可传递很强的能量 传播的能量密度 垂直于波的传播方向单位面积上的能量 J=ρc (ωA)2/2 ω=2πf (rad/s) A—振幅 （mm） ρ —介质的密度 固体、液体的ρ和c大→ J大 超声波的特性（3） 在液体介质中传播时，在界面上产生 液压冲击 空化现象 超声波的特性（4） 通过不同介质时，波速突变 折射 反射 介质的波阻抗ρc 之差越大，反射率越大 连接面间加入凡士林或机油 超声波的特性（5） 在一定条件下，产生干涉和共振现象 11.1.2 超声加工的基本原理 加工原理 冲击(为主) 抛磨 磨料冲击工件表面 空化作用 工作液进入裂缝 加快磨料更新速度 有助于排屑 11.1.3 超声加工的特点 适合加工各种硬脆材料 加工质量高，尺寸精度0.01~0.02mm，Ra0.63~0.08μm，无残余应力 宏观切削力小，切削热小，适合加工薄壁、窄缝、低刚度件 可加工复杂型面及型腔 加工效率低 工具有损耗 11.2 超声加工设备及其组成部分 超声波发生器 超声振动系统 超声换能器 变幅杆 工具 机床本体 辅助系统 磨料悬浮液循环系统 换能器冷却系统 11.2.1 超声波发生器 11.2.2 超声振动系统 超声换能器 作用 高频电振荡→机械能 换能器长度= kλ/2 种类 压电效应式 磁致伸缩式 压电效应式 石英晶体、钛酸钡(BaTiO3)、锆钛酸铅(ZrPbTiO3) 伸缩量小(石英晶体：3kV时，0.01μm) 用于小功率超声加工 磁致伸缩式 铁磁体(Fe、Co、Ni)、铁氧体 有高频涡流损失→片状叠加 “双频现象” 交流正弦波→脉动直流励磁电流 变幅杆 作用：放大振幅 振幅放大原理 J=ρc (ωA)2/2 振幅 A= (2J/K)1/2 其中 ，K= ρcω2 变幅杆的形式 工具 11.2.3 超声加工机床 11.3 超声加工速度、精度、表面质量 及其影响因素 影响加工速度的因素 工具的振幅和频率 进给压力 磨料的硬度和粒度 磨料悬浮液的浓度 工件和工具材料 影响加工速度的因素（1） 工具的振幅和频率 振幅A ↑→冲击力↑ →加工速度↑ 过大→内应力↑ →工具寿命↓ 频率f ↑→冲击次数↑ →加工速度↑ 过大→能量损失↑ →加工速度↓ 一般：A=0.01～0.1mm，f =16~25kHz 影响加工速度的因素（2） 进给压力 过小→工作间隙↑→冲击力↓→加工速度↓ 过大→磨料被挤出来 →加工速度↓ 影响加工速度的因素（3） 磨料的硬度和粒度 硬度↑ →加工速度↑ 粒度过小→能量损失↑ →加工速度↓ →更新速度↓ →加工速度↓ 粒度过大→同时参与磨粒数↓→加工速度↓ 影响加工速度的因素（4） 磨料悬浮液的浓度 浓度过小→磨粒数↓→加工速度↓ 浓度过大→能量损失↑ →加工速度↓ →更新速度↓ →加工速度↓ 影响加工速度的因素（5） 工件材料 脆性↑→受冲击载荷的能力↓→加工速度↑ 超声加工精度和表面质量 孔加工范围 Φ0.1~90mm，深径比＞20 孔加工精度 0.05~0.02mm 表面粗糙度 Ra 1~0. 08um 11.4 超声波的应用技术 超声切割加工 型孔、型腔加工 超声振动切削 超声清洗 超声波测距 超声波探伤 超声雾化 11.4.1 超声切割加工 单晶硅片切割方法 11.4.2 型孔、型腔加工 11.4.3 超声振动切削 11.4.3 超声振动切削 11.4.3 超声振动切削 11.4.4 超声波复合振动研磨 11.4.5 超声清洗(1) 11.4.5 超声清洗(2) 11.4.5 超声清洗(3) 11.4.5 超声清洗(4) 11.4.6 超声测距 11.4.7 超声波无损检测 11.4.8 超声雾化 11.5 超声波加工新技术 超声波仿铣加工（Ultrasonic Milling) 微细超声波加工技术 存在问题 工具有损耗 损耗不易补