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- 2019-06-15 发布于四川
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半导体制造技术导论（第二版）
第九章 刻蚀工艺
白雪飞
中国科学技术大学电子科学与技术系
提纲
• 简介
• 刻蚀工艺基础
• 湿法刻蚀工艺
• 干法刻蚀工艺
• 等离子体刻蚀工艺
• 刻蚀工艺制程趋势
• 刻蚀工艺发展趋势
2
简 介
先进的集成电路工艺流程
先进
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