激光基本原理第九章.ppt

饱和光强与激光上、下能级寿命有关，而CO2能级寿命与激光器中的放电电流密度、气体温度、气体总压强和成分有关。因此CO2激光器的饱和光强Is与激光器的工作条件有关。 例如封离型CO2激光器的饱和光强一般在22—100W／cm2之间，而横向流动激光器的饱和光强可高达250W／cm2。 CO2激光器的谐振腔大多采用平凹腔，由于其增益高．也可采用非稳腔以增加其模体积。 高反射镜可用金属制成，也可在玻璃表面镀以金膜，输出端可采用小孔耦合方式或由可透过红外光的Ge、GaAs等材料制成输出窗。 1、纵向慢流CO2激光器 气体从放电管一端流入，另一端抽走，气流、电流和光轴方向一致。气流目的是排除CO2与电子碰撞时分解的CO2气，补充新鲜气体。 放电电流密度和气体压强均有最佳值。 电流密度增加时激光上能级激发速率增加．但由此造成的气体温度的升高又会增加下能级集居数，因而存在一最佳电流值。 气体压强增高时一方面反转集居数增加，另一方面，气体分子间更加频繁的碰撞阻碍热量向管壁的扩散，从而导致气体温度升高。实验表明，电流密度与压强的最佳值大致与放电管径成反比。在最佳放电条件下，激光器的输出功率约为50—60W／m。 2、封离型CO2激光器 放电过程中，一部分CO2分子分解为CO和O，如不抽去陈气，补充新鲜气体，则CO2含量减少，CO含量增多，将导致输出功率下降。 因此，在封离型CO2激光器中，加入催化剂促使O和CO更新结合为CO2 ，并选用不与O2气作用的阴极材料料以保证激光器中有足够的氧气和CO重新结合。通常加入少量H2O或H2作催化剂。封离型激光器的结构和输出功率的水平和纵向漫流激光器相似，寿命巳超过数千小时至—万小时。 3．纵向快流CO2激光器 在纵向慢流激光器中，热量主要靠气体的扩散运动传给管壁，再由沿管壁外表面流动的冷却液带走。散热效率较低，电流密度和压强不能太大，限制了输出功率。 如果提高气体流动速度(约50m／s)．使放电管内的热气流流出管外，在管外冷却后再返回放电管，则不再存在放电电流密度的最佳值，输出功率随放电电流密度线性增加。 单位长度输出功率可达1KW／m以上。1～3kw的纵向快流CO2 激光器已广泛用于激光加工。与大功率的横向流动激光器相比，纵向快流CO2激光器中放电电流密度分布的园对称性较好，具有更好的光束质量。 4．横向流动CO2激光器 纵向快流CO2激光器需要很高气体流速。若使气体流流动方向与光轴垂直，由于气体通道截面大，气体流动路径短，因此较低的流速就能达到纵向快流同样的冷却效果。 在横向流动CO2激光器中，输出功率的电流饱和效应不明显。最佳气体压强高达1.3×104pa。高压强运转有利于提高输出功率，但碰撞使电子温度降低，必须在强电场中才能维持足够高的电子温度。 在横向流动CO2激光器中，纵向放电不切实际．通常采用电场与光轴垂直的横向放电方式。采用横向放电方式的激光器称作TE激光器。 此类激光器中单位长度输出功率可达每米数千瓦，总输出功率已高达1—20kw。 5．横向激励大气压CO2激光器 高气压横向激励CO2激光器中，压强高会导致放电不稳定。常采用脉冲放电激励方式。 快速脉冲放电时放电不稳定过程来不及充分发展，因此气体压强可增高至大气压或高于大气压。由于压强高，横向激励大气压激光器(简称TEA激光器)单位体积输出能量可高达20—50J／L，总能量和峰值功率可分别高达10kJ和20Tw。 6、气动CO2激光器 气动CO2激光器采用热泵浦方式。含有CO2的混合气体在容器内燃烧以形成高温高压状态．由于温度很高， CO2的激光上、下能级均具有较高的集居数密度。混合气体通过喷管绝热膨胀时气体温度急剧下降，上能级的寿命较下能级长，集居数密度减少的速率较下能级慢，在膨胀区的相当大的范围内可形成集居数反转状态。气动CO2激光器的输出功率可达80kw。 7．波导CO2激光器 波导CO2激光器是一种小型激光器，由BeO或玻璃制成的放电管管径仅1—4mm。由于放电管管壁对于小角度掠射光的费涅耳反射率很高．可在横向尺寸远大于光波波长的空心介质波导中低损耗地传输波导模。 波导CO2激光器可采取纵向放电方式，也可采用横向射频激励。放电孔径小，气体压强可达(1.5—2.5)×104Pa，有较宽的调谐范围。其单位长度输出功率为50W／m，适用于输出功率小于30w的小型封离激光器。 四、N2分子激光器 脉冲放电激励的N2分子激光器输出紫外光，峰值功率可达数十兆瓦，脉宽小于10ns、重复频率为数十至数千赫。 用作可调谐染料激光器的泵浦源，还