【离焦离轴误差】衍射光学半导体激光器线阵消像散准直器系统误差分析.pdfVIP

第27 卷　第6 期 . 27, . 6 中　 国　激　光 Vol A No 　2000 年6 月 CHINESE JOURNAL OF LASERS Jun , 2000 衍射光学半导体激光器线阵消像散 准直器系统误差分析 周崇喜 ( 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家 点实验室　成都 610209) 分析了衍射光学半导体激光器线阵消像散准直器误差的来源, 推导了相应的计算公式, 并 对设计制作的准直器进行了误差计算与分析, 指出减小误差的措施。 　衍射光学, 消像散, 半导体激光器, 准直器, 误差 1　半导体激光器线阵消像散准直器设计制作 　　衍射光学元件的性能参数主要包括衍射级方向和衍射效率。衍射光学半导体激光器线阵 消像散准直器的主要性能参数为准直度和衍射效率。我们所用的半导体激光器为线阵型, 单元 数为5, 每一单元的尺寸为25. 4 Lm ×625 Lm, 间距为101. 6 Lm, 子午和弧矢方向的发散角分 [ 1] 别为52°和18°, 即存在着像散, 其发光面如图1 所示 。 图1 半导体激光器线阵发光面示意图 图2 半导体激光器发光模型 Fig. 1 Diagram of th mitting light cross su rfac of Fig. 2 Light mitting mod l of las r diod th lin ar las r diod 如采用传统的透镜准直, 必须制作两个相互垂直放置的不同焦距的柱面透镜。这样, 一方 面这么小的光学透镜线阵是非常难以加工的, 另一方面两个柱面透镜线阵也是很难对准的。为 此, 我们采用衍射微透镜列阵来进行光束准直。如图2 所示, 设半导体激光器出射光斑尺寸为 Dx ×Dy , 远场发散角为2wx ×2wy , 扩束面积为Lx ×Ly , 则应满足以下方程 Lx/ 2 Dx/ 2 Ly/ 2 Dy/ 2 = = tanwx　　　 = = tanwy ( 1) d + zx zx d + zy zy 解得 zx = Dx/ 2tanwx　　　zy = Dy/ 2tanwy (2) 　　收稿日期 ∶1998- 12- 15; 收到修改稿日期 ∶1999-02-03 516 中　　　国　　　激　　　光 27 卷 x y 由(3) 式可求出子午和弧矢方向的焦距f 和f , f x = zx + d (3) f y = zy + d 这里Ly 为相邻两发光面中心线间距。根据( 1) 式即可求得d(d 为发光面到准直输出面之间的 距离) 。进而由(3) 式得到子午和弧矢方向的焦距f x 和f y , 那么总的透镜的复振幅透过率函数 为 2P x2 y2