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廠務系統概述;整廠系統;1.廠務系統功能;1.1 水系統在製程中的功能;1.2 氣體系統在製程中的功能;1.3 化學系統在製程中的功能;1.4 真空系統在製程中的功能;Pump Line
製程高真空;2.廠務系統使用材質;
;CDA
壓縮乾燥空氣;2.3 化學系統使用材質;2.4 真空系統使用材質;Pump Line
製程高真空;2.6 排水系統使用材質;3.廠務系統流程;3.1 製程冷卻水系統簡略流程;3.2 冰水系統簡略流程;3.3 純水系統簡略流程;3.4 自來水/回收水系統簡略流程;3.5 CDA/GN2/PN2系統簡略流程;3.6 其他大宗氣體/特氣系統簡略流程;3.7 高真空/排氣系統簡略流程;3.8 真空系統簡略流程;3.9 化學系統簡略流程;3.10 廢水收集系統簡略流程;3.11 廢水處理系統簡略流程;討論時間
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