第九章压电测量技术.ppt

★结论：上限频率取决于传感器的机械特性； 下限频率取决于测量电路的时间常数。 （4）横向灵敏度 指传感器对垂直于主轴平面内的加速度的最大灵敏度。 产生的原因 （1） 压电材料性能的不均匀、压电片表面粗糙或两个表面不平行、压电片表面有杂质或接触不良； （2） 晶体片切割或极化方向有偏差； （3） 传感器基座上下两端互相不平行； （4） 基座平面与主轴方向互不垂直，基座平面不平； （5） 质量块或压紧螺母加工精度不紧； （6） 传感器装配质量不好，结构不对称。 ： 9.6 引起压电式传感器测量误差的因素 9.6.1 环境温度的影响 周围环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常数的影响最大，它将造成传感器灵敏度发生变化。 1）石英晶体 石英晶体对温度并不敏感，在常温范围甚至温度高至200℃，石英的压电常数和介电常数几乎不变，在200℃～400℃范围内变化也不大。 2）压电陶瓷 人工极化的压电陶瓷受温度的影响比石英要大得多，压电常数和介电常数随温度变化的趋势大体上如图所示。 为了提高压电陶瓷的温度稳定性和长时间温度稳定性，一般应进行人工老化处理。 人工老化处理: 将压电陶瓷置于温度箱内反复加温和降温，连续做一个星期，加温和降温的周期为二小时。 压电陶瓷经人工老化后处理后，虽然在正常使用稳定环境中性能比较稳定，但在高温环境中使用时，压电常数和介电常数仍会发生变化。 普通的压电式传感器的工作温度总是有限的，这主要是受压电材料、电子线路元件和电缆耐温限制。 压电材料的电阻率是随着温度的增加按指数规律减小的。 传感器的连接电缆也是一个至关重要的部件。普通电缆是不能耐700℃以上高温的。 电缆两端必须气密焊封，以防止潮气侵入到无机绝缘材料中使绝缘电阻减低。 9.6.2 环境湿度的影响 环境湿度对压电式传感器性能影响很大。如传感器长期在高湿环境下工作，传感器的绝缘电阻（泄漏电阻）将会减小，以致使传感器的低频响应变坏。 要选用绝缘性能良好的绝缘材料，如聚氯乙烯、聚苯乙烯、陶瓷等。 零件表面的光洁度要高。 对一些长期在潮湿环境或水下工作的传感器，应采取防潮密封措施，在容易漏气或进水的输出引线接头处用特殊材料加以密封。 9.6.3 电缆噪声 压电式传感器的信号电缆一般采用小型同轴导线，这种电缆很柔软，具有良好的挠性。 ◆电缆噪声完全是由电缆自身产生的。普通的同轴电缆是由聚乙烯或聚四氟乙烯作绝缘保护层的多股绞线组成。 ◆为了减少这种噪声，除选用特制的低噪声电缆。 ◆在测量过程中应将电缆固紧，以免产生相对运动。 作 业 9-1 什么叫正压电效应？什么叫逆压电效应？ 9-2 画出压电元件的两种等效电路。 9-3 电荷放大器要解决的核心问题是什么？试推导其输入输出关系。 9-4 何谓电压灵敏度和电荷灵敏度？两者间有什么关系？ 9-5 简述压电式加速度传感器的工作原理。 9-6 有两只压电式加速度传感器，固有频率分别为200kHz和35kHz，阻尼比均为0.3，今欲测频率为10Hz的振动应选用哪一只？为什么？ 9-7 为了扩大压电式传感器的低频响应范围，是否可以采用增加测量回路电容C的办法？为什么？ 9-8 压电式传感器的上限频率和下限频率各取决于什么因素？ 9-9 分析压电式加速度传感器的频率响应特性。若测量电路的C =1000pF，R =500MΩ，传感器固有频率?0=30kHz，相对阻尼比系数ξ=0.5，求幅值误差在2%以内的使用频率范围。 9-10 用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器的振动，已知加速度计灵敏度为5pC/g,电荷放大器灵敏度为50mV/pC,当机器达到最大加速度值时相应的输出电压幅值为2V，试求该机器的振动加速度 9-11 石英晶体压电式传感器，面积为1cm2，厚度为1mm，固定在两金属板之间，用来测量通过晶体两面力的变化。材料的弹性模量是9×1010Pa，电荷灵敏度为2pC/N，相对介电常数是5.1，材料相对两面间电阻是1014Ω。一个20pF的电容和一个100MΩ的电阻与极板相连。若所加力F=0.01sin（103t）N, 求： ①两极板间电压峰—峰值； ②晶体厚度的最大变化值。 9-12 已知电压前置放大器输入电阻及总电容分别为Ri=100MΩ，Ci=100pF，求与压电式加速度计相配测1Hz振动时幅值误差是多少？ 9-13 已知某压电式传感器测量