SJ_T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件.pdf

L98 中华人 民共和 国电子行业标准 SJ1T10583一94 气体质量流量控制器通用技术条件 Generalspecificationforgasmassflowcontroller 1994-08-08发布 1994-12-01实施 中华人民共和国电子工业部 发 布 中华人 民共和国电子行业标准 SJ/T 10583-94 气体质量流量控制器通用技术条件 Generalspecificationforgasmassflowcontroller 飞 主题内容与适用范围 本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、 贮存 。 本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简 称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等 部门。 弓1用标准 CUB191 包装储运图示标志 己B6388 、运输包装收发货标志 GB/T13384 机电产品包装通用技术条件 SJ37 电子工业专用设备型号命名方法 SJ/T 电子工业专用设备可靠性指标验证考核试验方法 术语、符 号 F·S (fullscale) 满量程值 :一;质量流量 massflow 单位时间内流过某截面的流体的质量数。 气体质量流量用标准状态下的体积流盘来表示。气体质量流量单位如下: a . 标准状态ml/min(SCCM); 阮 标准状态 I/min(SLM ). 标准状态规定为: 气体楹度:。℃; 气 压!101325Pa. 3.3 流量范围 ranges 同一型号控制器所包括的最小至最大的流量规格的范围。控制器的流量规格通常用它的 满量程值来表示. 流量规格一般按1,2,3,5分档，如10尽CCM,20SCCM,3SLM,SSLM等。 中华人民共和国电子工业部 1994-08-08批准 1994-12-01实施 一 1 一 SJ/T10583-94 3.4 准确度 accuracy 控制器满量程的流量示值与标准器测量的满量程实际值之差与满量程实际值相比的百分 比值。 控制器的准确度仅指在标准标定条件下的流量标定的误差值。 3.5线性 linearity 量程内各点的实际流量值座标相对零到满流量程实际流量值座标连接直线的最大偏离程 度，用相对满量程的实际流量的偏差的百分比表示。 3.6重复精度 repeatability 在温度、气压等环境条件不变的情况下，控制器的同一示值的实测流量的升降变差相对满 量程实测流量的百分比值。 3.7响应时间 responsetime 当设定值发生阶跃变化后，气体流量跟随设定值改变，通过一段时间后达到相对最后稳态 值的误差范围之内时，这段时间称为响应时间。 响应时间分电特性和气特性，气特性又分为控制器局部气特性和大气容系统气特性两种. 3.8 工作压力范围 oneraY..}g,pressurera;。 能保证生制器在全量程范困内正含稳定工作的最小到最大淤\口气压/芭枯入口一与出口 之间的气压降)。 3.9 压力系数 pressurecoefficient 在流量示值不变的情况下，实际流量随工作气压变化的改变量相对标定的满量程实际流 量的百分数与气压改变量之比。 3.10漏气率 leakintegrity 单位时间内的氦气泄漏量。 单位:标准状态ml/s 氦 CSCCSHe) 3.11 温度系数 3.11.1零