聚焦离子束纳米制备和加工系统.doc

PAGE 第PAGE 5页 编号： 编号： 浙江大学 购置大型仪器设备可行性论证 与审批报告 仪器设备名称 聚焦离子束纳米制备和加工系统 申 请 单 位 光电系 现代光学仪器国家重点实验室 申 请 人 郭冰 经 费 来 源 教育部司预设备购置 项 目 负 责 人 刘旭 申 请 日 期 2010年4月 实验室与设备管理处制 仪器设备中文名称 聚焦离子束纳米制备和加工系统 仪器设备外文名称 Focused ion beam nanofabrication system 型号规格 Quanta 3D FEG 申购数量 1台 单价估计 人民币(元)： (折合)外币：（略）美元 主要技术指标 电子束系统： 分辨率：优于3nm 电子加速电压:200V-30kV 电子束流：最大束流不小于10nA 离子束系统： 分辨率：优于7nm 离子加速电压:2-30kV 离子束流：1pA-1nA 主要功能、应用范围 与共享学科 主要功能：光学工程、物理、材料、化学、微电子等领域所需的亚微米和纳米尺度的高精度微纳加工和结构制备 应用范围：基于玻璃、光学晶体、氧化物等介质材料的低维纳米线、条、孔等导波结构的精密制备；纳米尺度的金属表面等离子体共振结构、导波结构、衬底结构的制备和加工；亚波长量级的光子晶体结构、负折射率材料结构的加工制备；氧化物半导体纳米结构的高精度表面处理、结构加工和制备；其他无源和有源纳米光子结构和材料的制备和改性 本设备可实现共享的学科：该设备镜购置之后，可以为材料、物理、化学、生物、光电等院系的大量纳米技术研究人员提供微纳结构的加工和制备服务 申 购 理 由 和 必 要 性 与集成电子器件和技术发展历程类似，随着人们对光子器件性能要求的不断提高，光子科学和技术必定要向亚波长和纳米尺度推进，与之匹配的高精度纳米结构制备手段是最重要的基础条件之一。 目前微纳光子学技术及器件是国际上的一个研究热点，微纳光子结构所涉及的基本材料包括介电、半导体和金属等几大类，对这些材料实现纳米精度的加工和制备是该方向研究条件中最关键的实验手段之一，微纳光子学领域的国际一流研究大学或机构（比如美国的Harvard、MIT、Berkeley等大学）均成立了纳米制备加工中心或专门的实验室，配备了先进的高精度纳米制备设施，特别是基于聚焦离子束（FIB）的纳米结构制备和表征设备。从2002年法国Strasbourg大学T. W. Ebbesen教授研究小组首次在Science杂志上报道亚波长金属小孔透射率增强效应，到近两年来美国加州大学Berkeley分校的X. Zhang教授研究组在Nature、Nature Photonics等杂志报道的超分辨成像和长程传输的复合纳米金属波导等一系列重大突破，均是基于FIB制备和加工系统获得。 FIB纳米加工系统对材料制备的高精度、普适性和灵活性，极大地增强了在微纳光子学前沿探索的创新能力和灵活运用尖端技术的能力，突显了上述研究小组或机构在微纳光子学研究方向的领先地位。浙江大学现代光学仪器国家重点实验室近年来在微纳光子结构和器件研究方面获得了重大进展，在多个研究方向上具有冲击国际一流研究水平的实力和基础，但是，由于我们在纳米精度的加工和制备手段方面的缺乏，无法对绝大多数相关材料或结构实施灵活制备和处理，不得不放弃很多有创意的研究思路，严重限制了我们在该领域的研究深度和广度。 与其他纳米制备手段相比，FIB纳米制备和加工系统具有不可替代的突出优势，主要体现在加工深度大、灵活性好（可以直接加工大多数介质、半导体和金属材料）、精度高、可直接进行三维加工、双束（FIB/SEM）加工系统对加工区域可进行高分辨率原位观察和表征等，是先进微纳光子技术和器件研究不可或缺的材料制备系统。如果我们能配备这个系统，结合我们已有的工作基础，将很多具有原创性的研究思想快速在实验中获得验证并向器件应用转化，将能大大增强我们在微纳光子学领域的科技创新能力和国际竞争力，使我们在微纳光子学领域的国际前沿研究方向持续稳定地获得和保持国际先进或领先的研究水平。 调 研 情 况 1、本校有同类设备 0 台，使用情况调研如下：（不够可附页） 单 位 仪器编号 仪 器 名 称 使用情况(繁忙/一般/闲置） 是否开放 2、列出两家可供货厂商及相关情况(仪器性能、售后、价格等的比较，不够可附页) （略） 预期使用效益及风险预测 预期年有效使用机时: 1500 小时/年 由于聚焦离子束纳米制备和加工系统为成熟产品，同型号产品在国内外科研和工业界已经广泛应用，工作稳定可靠，风险较小 人员安排及仪器安装条件 1、人员安排 仪器负责人: 郭冰 职称 副教授 电话 879511