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一个鉴于玻璃微型用量控制薄片上气流微动泵的制作和它 在化学有光剖析中的运用 弓I言 微流控芯片(Microfluidic chips)是分析化学发展的 热点领域，其核心是对微流体的控制，而研究与微通道相适应的微 流体驱动技术是实现微流体控制的前提和基础.目前，基于不同致 动原理的驱动技术层出不穷，如压电致动微泵、电磁致动微泵等， 但它们均不同程度地存在结构复杂、加工难度大、不易与芯片集成化 等问题。2000年，Unger等利用多层软光刻技术制备了一种气动 致动聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane , PDMS)基质微泵。 其结构简单，芯片部分体积微小，加工难度低，易实现集成化微 加工，但由于受PDMS基材的限制,芯片的刚性强度低，系统 控制的可靠性以及接口的稳定性尚有待提高。 本文采用AZ4620光胶阳模在PDMS材料上加工了横截面 为圆弧形的微通道结构，利用玻璃与PDMS材料之间的永久封合技 术,完成气体致动通道和液流通道的密闭,得到玻璃2PDMS复合 芯片气动微泵结构，简化了气动微泵芯片的制作工艺，成功地实现 了单一微泵对多路液流的驱动，并将其应用于化学发光分析. 1实验部分 1. 1仪器与试剂UV21型6W低压汞灯(上海顾村电光仪器 厂)；JKG22A光刻机(上海光学机械厂)；KW24A型匀胶机 （中国科学院微电子中心研究部）；UM22L三通阀（浙江奉化永 益气动制造有限公司）；氮气钢瓶；计算机（Intel Celeron processor 300A , 64MRAM）及并口连接器；GD21型微光测量仪（西安瑞 科电子设备有限公司）；台式自动平衡记录仪（上海大华仪表厂）； CR 114型光电倍增管（北京滨松光子技术有限公司）? Sylgardl84PDMS前聚物及固化剂 （美国Dow Corning公 司）；AZ4620光胶（美国Shipley公司）；0. 7 %NaO H溶液； 80屮n厚硅橡胶薄膜（上海橡胶制品研究所）；环氧树脂粘接胶（浙 江黄岩光华胶粘剂厂）；聚四氟乙烯管。铁氧化钾；鲁米诺（美 国sig2 ma公司）；过氧化氢（30%）；氢氧化钾；去离子水。 1.2气动微泵芯片的制作 1.2. 1芯片构型设计，实验中设计的气动微泵芯片采用三层 结构:上层为带微通道的玻璃盖片，通道（虚线位置）被用作流 体控制（气体致动通道）；中层为PDMS薄膜,作为泵膜使用， 厚度为80pn ；下层为带微通道的PDMS基片,其通道被用作流 体流动（流动通道），通道构型为型,宽500|im ,深30|im.芯 片封合时，上下通道呈垂直交叉构型放置。整个芯片尺寸为20 mm x30 mm.鲁米诺和过氧化氢的混合溶液与铁氧化钾均市气动微泵引 入，并在蜿蜒区域发生反应，最后流入废液池。为了能同时满足 提高混合效率和减小流体阻力这两方面要求，最终选择混合检测区 长度为13 mm. 1.2.2上层玻璃盖片的加工采用标准光刻和湿法刻蚀技术，在 玻璃盖片上加工3个平行的气动致动通道，通道长11 mm，宽1 mm ,深200pm.如图1所示，在各外气路接口及对应PDMS基 片储液池位置打孔，用聚四氟乙烯管完成气体致动通道与外气路的 连接。 1. 2. 3底层PDMS基片的制作实验用AZ4620光胶阳模浇 铸PDMS基片。其具体制作工序如下：(1)用CorelDraw程 序绘制液流通道构型，制得光刻掩模；(2)用匀胶机(1 000 r/ min ,转动20 s)在玻璃基底上均匀涂覆一层AZ4620光胶，静 置15 min ,待光胶略干后,再涂覆图1玻璃2 PDMS复合芯片气 动微泵结构示意图 Fig. 1 Schematic drawing of the structure of pneumatic mi 2 cropump on glass 2 PDMS microchip AC： 气体致动通 道；FC：流体流动通道；RR : Luminol与H 202混合液进样池； SR : K3进样池；WR :废液池；D :反应检测区一层，如此 重复涂覆3层即可得到厚度约为30^m的光胶层；(3)将光胶 层置于90 °C下加热30 min ,进行前烘；(4)紫外光曝光4分 40秒后，用0. 7 %的20 H溶液显影冲洗；(5)在160 °C 下后烘光胶层，得到通道横截面为圆弧形的光胶阳模。(6)将 PDMS前聚物与固化剂以质量比为10 : 1的比例混合均匀浇灌于 阳模上,85 °C固化20 min后,脱模得到底层PDMS结构。 1.2.4芯片的封合将加工好的玻璃盖片和PDMS薄膜清洗干 净,用低压汞灯照射3h后，贴合并压紧放置48 h完成封接.在 PDMS薄膜上对应玻璃盖片储液池位置打孔，如图1所示,将 气体致动通道和液体流动通道呈垂直交