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微流控惠斯通电桥式通用流阻测量方法.PDF
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半导体光电 年 月第 卷第 期 仉 乐 等 微流控惠斯通电桥式通用流阻测量方法
２０１８ ２ ３９ １
、 : /
材料 结构及工艺 DOI １０．１６８１８ ．issn１００１－５８６８．２０１８．０１．０１７
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微流控惠斯通电桥式通用流阻测量方法
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仉 乐 梁忠诚 吴雯婷 赵 瑞 孔梅梅
( , )
南京邮电大学 光电工程学院 南京 ２１００２３
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摘 要 标准化是微流控系统的发展趋势 很多器件需要精确的流量控制和传输 因此 准
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确地表征和测量芯片功能模块的流体阻力具有重要的应用价值 提出了一种类比于惠斯通电桥测
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量不同流阻大小的器件 该器件将一个芯片内的膜阀视为可变流阻器 与待测器件并联 通过施加
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不同的压力 控制膜阀的开口度 保持桥平衡 直接计算获得待测芯片的流阻大小 仿真计算发现
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其测量范围达到 个数量级 误差控制在 以内 结果表明 微流控惠斯通电桥是测量流阻的有
４ ３％
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效方法 可以根据不同的应用环境 设计不同的尺寸和结构 以满足特定需要
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关键词 微流体学 数值模拟 测量 惠斯通桥 流阻
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TN２５ A １００１－５８６８２０１８０１－００８１－０５
MicrofluidicWheatstoneBrideforMeasurementofHdraulicResistance
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